[发明专利]一种晶圆传输系统的控制方法和半导体工艺设备

权利要求书

1.一种晶圆传输系统的控制方法，其特征在于，所述晶圆传输系统包括传输结构、装载腔，以及位于所述装载腔中的承载结构，所述传输结构包括多个独立的机械手，所述方法包括：

在传输晶圆时，确定当前操作的机械手的实际高度信息；

根据所述实际高度信息，以及所述当前操作的机械手在所述传输结构中的位置，确定所述承载结构的目标高度信息和目标速度信息；

按照所述目标高度信息和所述目标速度信息，控制所述承载结构进行移动。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述实际高度信息，以及所述当前操作的机械手在所述传输结构中的位置，确定所述承载结构的目标高度信息和目标速度信息，包括：

确定所述承载结构的当前作业方式；

根据所述当前作业方式，以及所述当前操作的机械手在所述传输结构中的位置，确定针对所述当前操作的机械手的安全阈值；

根据所述实际高度信息、所述安全阈值，以及所述当前作业方式，确定所述承载结构的目标高度信息；

根据所述当前作业方式，以及所述当前操作的机械手在所述传输结构中的位置，确定所述承载结构的目标速度信息。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述当前作业方式，以及所述当前操作的机械手在所述传输结构中的位置，确定针对所述当前操作的机械手的安全阈值，包括：

在所述当前作业方式为取片作业，且，所述当前操作的机械手为所述传输结构中最靠近所述装载腔顶端一侧的机械手时，确定针对所述当前操作的机械手的安全阈值为第一安全阈值；

在所述当前作业方式为取片作业，且，所述当前操作的机械手为所述传输结构中最靠近所述装载腔底端一侧的机械手时，确定针对所述当前操作的机械手的安全阈值为第二安全阈值；

其中，所述第一安全阈值大于所述第二安全阈值。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述当前作业方式，以及所述当前操作的机械手在所述传输结构中的位置，确定针对所述当前操作的机械手的安全阈值，包括：

在所述当前作业方式为放片作业，且，所述当前操作的机械手为所述传输结构中最靠近所述装载腔顶端一侧的机械手时，确定针对所述当前操作的机械手的安全阈值为第三安全阈值；

在所述当前作业方式为放片作业，且，所述当前操作的机械手为所述传输结构中最靠近所述装载腔底端一侧的机械手时，确定针对所述当前操作的机械手的安全阈值为第四安全阈值；

其中，所述第四安全阈值大于所述第三安全阈值。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述当前作业方式，以及所述当前操作的机械手在所述传输结构中的位置，确定所述承载结构的目标速度信息，包括：

在所述当前作业方式为取片作业，且，所述当前操作的机械手为所述传输结构中最靠近所述装载腔顶端一侧的机械手时，确定所述承载结构的目标速度信息为第一速度信息；

在所述当前作业方式为取片作业，且，所述当前操作的机械手为所述传输结构中最靠近所述装载腔底端一侧的机械手时，确定所述承载结构的当前高度信息，并在所述当前高度信息大于所述目标高度信息时，确定所述承载结构的目标速度信息为第二速度信息；

其中，所述第一速度信息大于所述第二速度信息。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述当前作业方式，以及所述当前操作的机械手在所述传输结构中的位置，确定所述承载结构的目标速度信息，还包括：

在所述当前高度信息小于所述目标高度信息时，确定所述承载结构的目标速度信息为第三速度信息；

其中，所述第三速度信息大于所述第二速度信息，且，所述第三速度信息与所述第二速度信息的方向相反。