[发明专利]一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质

权利要求书

1.一种静态参数测试系统，用于测量固态微波功率器件的静态参数，其特征在于：包括：第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块中的至少一种测量模块，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块通过切换模块与测量夹具相连接，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间通过总线相连接；

所述第一测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数测量提供正负双极性电压输出或电压测量、电流输出或电流测量功能；

所述第二测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数测量提供直流电压输出或直流电流测量功能；

所述第三测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数提供漏极电流输出或漏极电压测量功能；

所述第四测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供耐压参数漏电流测量功能；

所述第五测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供耐压参数测量或高压输出功能；

所述第六测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供直流或脉冲电压测量功能；

所述切换模块，用于在所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间进行切换，保证任一测量模块处于正在使用状态；

所述测量夹具，与正在使用中的任一测量模块相连接，用于夹持固态微波功率器件。

2.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第一测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极、源级，所述电压输出范围优选为：±(0.5～30)V，所述电流测量范围优选为：±(2～200)μA以及±(0.2～200)mA；所述电流输出范围优选为：±(2～200)μA以及±(0.2～200)mA，电压测量范围优选为：±(0.5～30)V。

3.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第二测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极、源级，所述电压输出范围优选为：(0.5～30)V，所述电流测量范围优选为：(0.2～200)mA以及(0.2～10)A。

4.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第三测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极、源级，所述电流输出范围优选为：(0.2～200)mA、(0.2～2)A以及脉冲电流(2～30)A，所述电压测量范围优选为：±(0.5～30)V。

5.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第四测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极与源极或漏极与源级，漏流测量范围优选为：(0.1～100)μA。

6.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第五测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极与源极或漏极与源级，所述高压输出范围优选为：(30～3000)V。

7.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第六测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极与S源级，所述直流电压测量范围优选为：±(0.5～30)V，所述脉冲电压测量范围优选为：±(0.5V～30V)。