[发明专利]一种改进型真空镀膜机在审
申请号: | 202110329840.2 | 申请日: | 2021-03-29 |
公开(公告)号: | CN112813402A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 苏庆掌;陈钦波 | 申请(专利权)人: | 永益集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人: | 陈孝政 |
地址: | 325000 浙江省温州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进型 真空镀膜 | ||
本发明公开了一种改进型真空镀膜机,包括箱体,箱体内设置有真空镀膜室,箱体的顶部设有箱盖,箱体位于真空镀膜室的上开口位置设置有一个下密封斜面,箱体的上端面从内至外依次设置有第一环形凹槽和第二环形凹槽,箱盖的下端面上焊接有硬质合金加强块,硬质合金加强块的下端面一体设置有硬密封凸块,该硬密封凸块对准下密封斜面位置设置有上密封斜面,第一环形凹槽内设置有唇形密封圈,第二环形凹槽内设置有O型密封圈,当箱盖盖合时,所述硬密封凸块的上密封斜面与真空镀膜室的上开口位置的下密封斜面之间构成硬密封。上述技术方案,结构设计合理、使用方便、箱盖和箱体之间密封性能好、使用寿命长且实用性好。
技术领域
本发明涉及镀膜设备技术领域,具体涉及一种改进型真空镀膜机。
背景技术
现有的真空镀膜机包括具有一开口的箱体和盖设于箱体上的箱盖,且为了增加箱盖和箱体之间的密封性能,而现有的真空镀膜机的箱盖和箱体之间的密封圈,往往是通过简单的增加常规的O型密封圈来实现密封效果,这种常规的O型密封圈密封效果较差,而且长时间在高温状态使用时,O型密封圈容易损坏,使得箱盖和箱体之间得不到密封效果,导致箱体无法获得较好的真空度,从而影响了镀膜质量,导致镀膜质量不稳定,实用性差。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种结构设计合理、使用方便、箱盖和箱体之间密封性能好、使用寿命长且实用性好的改进型真空镀膜机。
为实现上述目的,本发明提供了如下技术方案:一种改进型真空镀膜机,包括箱体,所述箱体内设置有真空镀膜室,箱体的顶部设有箱盖,所述箱体位于真空镀膜室的上开口位置设置有一个下密封斜面,所述箱体的上端面从内至外依次设置有第一环形凹槽和第二环形凹槽,所述箱盖的下端面上焊接有硬质合金加强块,所述硬质合金加强块的下端面一体设置有硬密封凸块,该硬密封凸块对准下密封斜面位置设置有上密封斜面,所述第一环形凹槽内设置有唇形密封圈,第二环形凹槽内设置有O型密封圈,当箱盖盖合时,所述硬密封凸块的上密封斜面与真空镀膜室的上开口位置的下密封斜面之间构成硬密封;所述唇形密封圈和O型密封圈的上端均与硬质合金加强块的下端面之间构成软密封。
本发明进一步设置为:所述箱盖的上端面正上方位置设置有若干个气缸升降装置,每个气缸升降装置的活塞杆朝下设置,且每个气缸升降装置的活塞杆下端焊接有一块连接板,所述连接板与箱盖的上端面通过螺钉连接固定。
本发明还进一步设置为:所述气缸升降装置后端固定设置有定位机架,所述箱盖的侧面上一体设置有定位凸块,所述定位凸块中部竖向设置有定位通孔,所述定位通孔内穿设有一根导向杆,所述导向杆上端与定位机架焊接固定。
本发明还进一步设置为:所述硬质合金加强块的下端面中部位置焊接有铝散热层,所述铝散热层的下端面上可拆卸设置有电加热装置。
本发明还进一步设置为:所述真空镀膜室的底部设置有废料收集槽,所述废料收集槽上端固定设置有钢丝定位网。
本发明还进一步设置为:所述真空镀膜室内还设置有电弧蒸发装置和温度传感器,箱体的外侧面上固定设置有控制装置,所述电加热装置、电弧蒸发装置和温度传感器分别通过导线与控制装置构成电连接。
本发明的优点是:与现有技术相比,本发明结构设置更加合理,当箱盖盖合时,硬密封凸块的上密封斜面与真空镀膜室上开口位置的下密封斜面之间构成硬密封;唇形密封圈和O型密封圈上端均与硬质合金加强块的下端面之间构成软密封;采用软硬结合的密封结构,密封性能更好,提高了箱体和箱盖之间的密封效果,保证箱体获得较好的真空度,从而保证了镀膜质量。
另外,箱盖的下端面上焊接有硬质合金加强块,且硬密封凸块也是硬质合金材质,不易变形、耐高温、不会轻易损坏,不用经常维修。结构设计合理、使用方便、箱盖和箱体之间密封性能好、使用寿命长且实用性好。
下面结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步说明。
附图说明
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