[发明专利]一种改进型真空镀膜机在审

专利信息
申请号: 202110329840.2 申请日: 2021-03-29
公开(公告)号: CN112813402A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 苏庆掌;陈钦波 申请(专利权)人: 永益集团股份有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 北京中北知识产权代理有限公司 11253 代理人: 陈孝政
地址: 325000 浙江省温州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 改进型 真空镀膜
【权利要求书】:

1.一种改进型真空镀膜机,包括箱体(1),所述箱体(1)内设置有真空镀膜室(11),箱体(1)的顶部设有箱盖(2),其特征在于:所述箱体(1)位于真空镀膜室(11)的上开口位置设置有一个下密封斜面(11),所述箱体(1)的上端面从内至外依次设置有第一环形凹槽(12)和第二环形凹槽(13),所述箱盖(2)的下端面上焊接有硬质合金加强块(3),所述硬质合金加强块(3)的下端面一体设置有硬密封凸块(31),该硬密封凸块(31)对准下密封斜面(111)位置设置有上密封斜面(311),所述第一环形凹槽(12)内设置有唇形密封圈(4),第二环形凹槽(13)内设置有O型密封圈(5),当箱盖(2)盖合时,所述硬密封凸块(31)的上密封斜面(311)与真空镀膜室(11)的上开口位置的下密封斜面(111)之间构成硬密封;所述唇形密封圈(4)和O型密封圈(5)的上端均与硬质合金加强块(3)的下端面之间构成软密封。

2.根据权利要求1所述的一种改进型真空镀膜机,其特征在于:所述箱盖(2)的上端面正上方位置设置有若干个气缸升降装置(6),每个气缸升降装置(6)的活塞杆朝下设置,且每个气缸升降装置(6)的活塞杆下端焊接有一块连接板(61),所述连接板(61)与箱盖(2)的上端面通过螺钉连接固定。

3.根据权利要求2所述的一种改进型真空镀膜机,其特征在于:所述气缸升降装置(6)后端固定设置有定位机架(7),所述箱盖(2)的侧面上一体设置有定位凸块(21),所述定位凸块(21)中部竖向设置有定位通孔(211),所述定位通孔(211)内穿设有一根导向杆(8),所述导向杆(8)上端与定位机架(7)焊接固定。

4.根据权利要求1所述的一种改进型真空镀膜机,其特征在于:所述硬质合金加强块(3)的下端面中部位置焊接有铝散热层(9),所述铝散热层(9)的下端面上可拆卸设置有电加热装置(10)。

5.根据权利要求4所述的一种改进型真空镀膜机,其特征在于:所述真空镀膜室(11)的底部设置有废料收集槽(14),所述废料收集槽(14)上端固定设置有钢丝定位网(15)。

6.根据权利要求5所述的一种改进型真空镀膜机,其特征在于:所述真空镀膜室(11)内还设置有电弧蒸发装置(16)和温度传感器(17),箱体(1)的外侧面上固定设置有控制装置(18),所述电加热装置(10)、电弧蒸发装置(16)和温度传感器(17)分别通过导线与控制装置(18)构成电连接。

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