[发明专利]调整方法、检测设备及计算机可读存储介质

说明书

本申请提供一种扫描装置的调整方法、检测设备及计算机可读存储介质。调整方法包括：获取步骤：对工件扫描成像以获取工件的第一图像；处理步骤：对第一图像进行处理，以获取第一图像中第一方向轮廓与扫描装置的扫描方向之间的第一角度、及第一图像中第二方向轮廓与扫描装置的扫描方向之间的第二角度，第一方向轮廓与第二方向轮廓相交；计算步骤：根据第一角度及第二角度获取扫描装置的旋转角；调整步骤：在旋转角位于预设范围外时，根据旋转角调整扫描装置的扫描视场的长度方向与扫描方向之间的角度。本申请的调整方法中，根据第一角度及第二角度计算得到的旋转角来调整扫描装置，有效提高扫描装置的调整效率。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，更具体而言，涉及一种扫描装置的调整方法、检测设备及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

在半导体检测领域，对工件进行检测时，需将工件放置在机台上，再利用扫描装置对工件表面采用直线扫描成像的方法获取工件图像，接着根据工件图像来检测工件表面的信息，例如是否存在缺陷，若存在缺陷，缺陷的类型如何。然而，由于扫描装置安装时相对扫描方向存在旋转误差，旋转误差容易导致扫描得到的工件图像畸变失真。为了避免工件图像产生畸变失真，则需要调试扫描装置，目前的调试技术，需要保存工件图像，通过目测的方式来获取扫描装置的调整角度，调整效率低下。

发明内容

本申请实施方式提供一种扫描装置的调整方法、检测设备及非易失性计算机可读存储介质。

本申请实施方式的扫描装置的调整方法包括：获取步骤：对工件扫描成像以获取所述工件的第一图像；处理步骤：对所述第一图像进行处理，以获取所述第一图像中第一方向轮廓与所述扫描装置的扫描方向之间的第一角度、及所述第一图像中第二方向轮廓与所述扫描装置的扫描方向之间的第二角度，所述第一方向轮廓与所述第二方向轮廓相交；计算步骤：根据所述第一角度及所述第二角度获取扫描装置的旋转角；及调整步骤：在旋转角位于预设范围外时，根据所述旋转角调整所述扫描装置的扫描视场的长度方向与所述扫描方向之间的角度。

本申请实施方式的检测设备包括扫描装置及一个或多个处理器。所述扫描装置用于执行获取步骤：对工件扫描成像以获取所述工件的第一图像。一个或多个所述处理器用于执行：处理步骤：对所述第一图像进行处理，以获取所述第一图像中第一方向轮廓与所述扫描装置的扫描方向之间的第一角度、及所述第一图像中第二方向轮廓与所述扫描装置的扫描方向之间的第二角度，所述第一方向轮廓与所述第二方向轮廓相交；计算步骤：根据所述第一角度及所述第二角度获取扫描装置的旋转角；及调整步骤：在旋转角位于预设范围外时，根据所述旋转角调整所述扫描装置的扫描视场的长度方向与所述扫描方向之间的角度。

本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质存储有计算机程序，当所述计算机程序被一个或多个所述处理器执行时，使得处理器能够实现如下方法：控制扫描装置执行获取步骤：对工件扫描成像以获取所述工件的第一图像；执行处理步骤：对所述第一图像进行处理，以获取所述第一图像中第一方向轮廓与所述扫描装置的扫描方向之间的第一角度、及所述第一图像中第二方向轮廓与所述扫描装置的扫描方向之间的第二角度，所述第一方向轮廓与所述第二方向轮廓相交；执行计算步骤：根据所述第一角度及所述第二角度获取扫描装置的旋转角；及执行调整步骤：在旋转角位于预设范围外时，根据所述旋转角调整所述扫描装置的扫描视场的长度方向与所述扫描方向之间的角度。

本申请的扫描装置的调整方法、检测设备及非易失性计算机可读存储介质中，通过计算第一图像中第一方向轮廓与扫描装置的扫描方向之间的第一角度、及第二方向轮廓与扫描装置的扫描方向之间的第二角度，以获取扫描装置的旋转角，并根据旋转角调整扫描装置的扫描视场的长度方向与扫描方向之间的角度，相较于目测方式调整扫描装置，提高了扫描装置的调整效率。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明