[发明专利]VCM弹片及其制作方法

说明书

一种VCM弹片及其制作方法，制作方法包括：在基板上形成第一干膜，图案化第一干膜，以形成第一凹槽；在第一凹槽形成第一导电层；在第一干膜和第一导电层上形成第二干膜，图案化第二干膜，以形成第二凹槽；在第二凹槽形成第二导电层；其中，第一凹槽和第二凹槽至少部分连通，以使第一导电层和第二导电层至少部分连接。通过在基板上做加法工艺，由于无需蚀刻，制程较为简单且具有较高的材料利用率，可避免刻蚀制程不稳定导致的缺陷，而且通过在第一凹槽形成第一导电层以及通过在第二凹槽形成第二导电层，相邻VCM弹片的第一导电层和第二导电层无需相连，在成型后可直接获得单颗VCM弹片。

技术领域

本发明属于音圈马达技术领域，尤其涉及一种VCM弹片及其制作方法。

背景技术

音圈马达或音圈电机(Voice coil motor，VCM)，原用于扬声器产生振动发声，现用于推动镜头移动产生自动对焦的成像模组。其基本原理为将线圈和镜筒固定在一起，磁铁和铁壳构成的磁场穿过线圈，当线圈中有电流通过时产生安培力，使镜筒带镜头前后移动。

弹片是VCM的一个重要部件，其用于控制镜头移动，制作弹片的传统工艺采用减法的半蚀刻技术，首先取铜卷材，在铜卷材依次进行双面压膜、曝光、显影和蚀刻，经过蚀刻或者半蚀刻制作出弹片。

传统的减法方案具有以下弊端：

1、制程复杂，材料利用率低；

2、采用半蚀刻控制铜厚度，因蚀刻制程不稳定会出现刻穿、蚀刻不断、铜黏连和线路不平整等问题；

3、无法直接制作出单颗弹片，后期需要冲切才能使得各个弹片分离。

发明内容

本发明的目的是提供一种VCM弹片及其制作方法，制程较为简单以及具有较高的材料利用率，能够避免刻蚀制程不稳定出现的问题以及能够直接制作出单颗VCM弹片。

为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：

第一方面，本发明提供了一种VCM弹片的制作方法，制作方法包括：在基板上形成第一干膜，图案化所述第一干膜，以形成第一凹槽；在所述第一凹槽形成第一导电层；在所述第一干膜和所述第一导电层上形成第二干膜，图案化所述第二干膜，以形成第二凹槽；在所述第二凹槽形成第二导电层；其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽至少部分连通，以使所述第一导电层和所述第二导电层至少部分连接。

通过在基板上做加法工艺，由于无需蚀刻，制程较为简单且具有较高的材料利用率，可避免刻蚀制程不稳定导致的缺陷，而且通过在第一凹槽形成第一导电层以及通过在第二凹槽形成第二导电层，相邻VCM弹片的第一导电层和第二导电层无需相连，在成型后可直接获得单颗VCM弹片。

一种实施方式中，所述制作方法还包括：去除所述第一干膜和所述第二干膜，并分离所述第一干膜和所述基板，从而获得VCM弹片。通过在第一导电层和第二导电层成型后，去除第一干膜、第二干膜和基板，从而可获得多个分离的VCM弹片，相对于现有技术中的冲切分离，不仅工艺较为简单，而且还避免了毛刺、披锋及损伤等可能出现的缺陷，可靠性较高。

一种实施方式中，所述在基板上形成第一干膜，图案化所述第一干膜，以形成第一凹槽，包括：曝光显影所述第一干膜以形成所述第一凹槽。通过曝光显影第一干膜来形成第一凹槽，以便于控制第一凹槽的深度来控制第一导电层的厚度，以此获取所需厚度的VCM弹片。

一种实施方式中，所述曝光显影所述第一干膜以形成所述第一凹槽，包括：采用半色调掩膜版曝光所述第一干膜，以使显影后形成具有多个深度的所述第一凹槽。通过采用半色调掩膜版曝光第一干膜，由于半色调掩膜版具有多个透光率不同的区域，能够区分第一干膜对应各个区域的曝光参数，从而获得具有多个深度的第一凹槽，有利于制作厚度不均的VCM弹片。