[发明专利]VCM弹片及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202110310294.8 申请日: 2021-03-23
公开(公告)号: CN113131711A 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 张礼冠;许建勇 申请(专利权)人: 江西展耀微电子有限公司
主分类号: H02K41/035 分类号: H02K41/035;H02K15/00;G03F7/20;G02B7/09
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 熊永强
地址: 330200 江西省南昌市临空经济区*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: vcm 弹片 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种VCM弹片的制作方法,其特征在于,包括:

在基板上形成第一干膜,图案化所述第一干膜,以形成第一凹槽;

在所述第一凹槽形成第一导电层;

在所述第一干膜和所述第一导电层上形成第二干膜,图案化所述第二干膜,以形成第二凹槽;

在所述第二凹槽形成第二导电层;

其中,所述第一凹槽和所述第二凹槽至少部分连通,以使所述第一导电层和所述第二导电层至少部分连接。

2.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述在基板上形成第一干膜,图案化所述第一干膜,以形成第一凹槽,包括:

曝光显影所述第一干膜以形成所述第一凹槽。

3.如权利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述曝光显影所述第一干膜以形成所述第一凹槽,包括:

采用半色调掩膜版曝光所述第一干膜,以使显影后形成具有多个深度的所述第一凹槽。

4.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述制作方法还包括:

去除所述第一干膜和所述第二干膜,并分离所述第一干膜和所述基板,从而获得VCM弹片。

5.如权利要求4所述的制作方法,其特征在于,所述基板的材质为光学胶,所述去除所述第一干膜和所述第二干膜,并分离所述第一干膜和所述基板,包括:

冷冻所述基板至失效温度,以使所述基板胶性失效,所述基板和所述第一干膜分离。

6.如权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述失效温度小于等于-80℃。

7.如权利要求4所述的制作方法,其特征在于,所述去除所述第一干膜和所述第二干膜,并分离所述第一干膜和所述基板,包括:

采用剥膜液溶解所述第一干膜和所述第二干膜。

8.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述第一导电层与所述第一干膜背向所述基板的表面平齐,所述第二导电层与所述第二干膜背向所述第一干膜的表面平齐。

9.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述第一干膜为正性光刻胶,所述第二干膜为负性光刻胶;或,所述第一干膜为负性光刻胶,所述第二干膜为正性光刻胶。

10.一种VCM弹片,其特征在于,所述VCM弹片采用如权利要求1至9任一项所述的制作方法制成。

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