[发明专利]发光单元及发光模组有效
申请号: | 202110304706.7 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN112701204B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 北京芯海视界三维科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L25/07 |
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地址: | 100055 北京市西城区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 单元 模组 | ||
本申请涉及半导体技术领域,公开了一种发光单元,包括:发光半导体,包括由下向上依次叠层设置的第一半导体层、有源层、第二半导体层,以及由第二半导体层下陷到第一半导体层的下陷结构;下陷结构具有至少一个面;保护层,保护层至少设置于第二半导体层的顶面;绝缘层,绝缘层至少设置在下陷结构中;其中,发光单元内设置有至少贯穿绝缘层,到达第一半导体层的第一孔;以及至少贯穿保护层,到达第二半导体层的第二孔;还包括第一电极和第二电极,分别设置于第一孔和第二孔内。本申请中,通过将保护层至少设置在第二半导体层之上,以使得在刻蚀的过程中,至少能够避免第二半导体层被误刻蚀。本申请还公开了一种发光模组。
技术领域
本申请涉及半导体技术领域,例如涉及发光单元及发光模组。
背景技术
目前,通常需要使用刻蚀工艺将发光单元的电极引出,以使发光单元能够与其他器件实现电连接。
在实现本公开实施例的过程中,发现相关技术中至少存在如下问题:
在第一半导体层的表面或第二半导体层的表面进行刻蚀工艺时,会误刻蚀到第一半导体层或第二半导体层的一部分,从而引起电阻的变化。
发明内容
为了对披露的实施例的一些方面有基本的理解,下面给出了简单的概括。该概括不是泛泛评述,也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围,而是作为后面的详细说明的序言。
本公开实施例提供了一种发光单元及发光模组,以解决进行刻蚀工艺时,会误刻蚀到第一半导体层或第二半导体层的一部分,从而引起电阻的变化的技术问题。
在一些实施例中,一种发光单元,包括:
发光半导体,包括由下向上依次叠层设置的第一半导体层、有源层、第二半导体层,以及由所述第二半导体层下陷到所述第一半导体层的下陷结构;所述下陷结构具有至少一个面;
保护层,所述保护层至少设置于所述第二半导体层的顶面;
绝缘层,所述绝缘层至少设置在所述下陷结构中;
其中,所述发光单元内设置有至少贯穿所述绝缘层,到达所述第一半导体层的第一孔;以及至少贯穿所述保护层,到达所述第二半导体层的第二孔;
所述发光单元还包括第一电极和第二电极,分别设置于所述第一孔和第二孔内。
在一些实施例中,所述绝缘层的顶面不低于所述保护层的顶面。
在一些实施例中,所述绝缘层的顶面为平面。
在一些实施例中,所述下陷结构具有一个斜面。
在一些实施例中,所述保护层设置于所述第二半导体层的顶面;
所述绝缘层设置于所述斜面上;其中,所述绝缘层的顶面与保护层的顶面共面;
所述第一孔贯穿所述绝缘层,到达所述第一半导体层;
所述第二孔贯穿所述保护层,到达所述第二半导体层。
在一些实施例中,所述保护层设置于所述第二半导体层的顶面,以及所述斜面上;
所述绝缘层设置于位于所述斜面上的保护层上;其中,所述绝缘层的顶面与保护层的顶面共面;
所述第一孔贯穿所述绝缘层和保护层,到达所述第一半导体层;
所述第二孔贯穿所述保护层,到达第二半导体层。
在一些实施例中,所述保护层设置于所述第二半导体层的顶面,以及所述斜面上;
所述绝缘层设置于所述保护层上;其中,所述绝缘层的顶面位于所述保护层的顶面所在平面的上方;
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