[发明专利]一种碳化硅精磨后的金刚石磨料资源的回收方法在审
申请号: | 202110296075.9 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN112978728A | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
主分类号: | C01B32/28 | 分类号: | C01B32/28 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 陈润明 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 精磨后 金刚石 磨料 资源 回收 方法 | ||
1.一种碳化硅精磨后的金刚石磨料资源的回收方法,其特征在于:包括如下步骤:
步骤1、将碳化硅精磨后的金刚石磨料中加入纯水,进行清洗,然后用800目方孔筛进行一级过滤,得到一级颗粒,待用;
步骤2、将步骤1得到的一级颗粒加入盐酸溶液,搅拌反应2~5h后,然后再加入次氯酸钠溶液,再次搅拌反应5~10h后,加入纯水进行水洗、过滤,分离得到浸出液、二级颗粒,待用;
步骤3、按照质量比为1:1~5将步骤2得到的二级颗粒中加入氢氧化钠,混合均匀后装入不锈钢容器中,然后进行高温反应,反应后冷却至室温,得到混合物,待用;
步骤4、将步骤3得到的混合物加入纯水进行水洗,直到溶液的pH为7,然后将混合溶液打入压滤机,进行固液分离,得到三级颗粒,待用;
步骤5、将步骤4得到的三级颗粒干燥处理后,置于管式炉中,在空气中加热至500~800℃恒温2~5h,得到回收的金刚石颗粒。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅精磨后的金刚石磨料资源的回收方法,其特征在于:步骤1中碳化硅精磨后的金刚石磨料和纯水的质量比为1:5~8。
3.根据权利要求1或2所述的一种碳化硅精磨后的金刚石磨料资源的回收方法,其特征在于:步骤2中盐酸溶液的浓度为20~30wt%,次氯酸钠溶液浓度为30~40wt%,一级颗粒、盐酸溶液、次氯酸钠溶液的质量比为1:5~8:0.7~1。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅精磨后的金刚石磨料资源的回收方法,其特征在于:步骤2中搅拌反应转速为30~80r/min。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅精磨后的金刚石磨料资源的回收方法,其特征在于:步骤2中用800目方孔筛进行过滤。
6.根据权利要求5所述的一种碳化硅精磨后的金刚石磨料资源的回收方法,其特征在于:步骤3中高温反应的反应温度500~800℃,反应时间10~15h。
7.根据权利要求6所述的一种碳化硅精磨后的金刚石磨料资源的回收方法,其特征在于:步骤4中物料和纯净水的质量比为1:3~5,压滤机为150型,工作压力为0.5MPa~1.6MPa。
8.根据权利要求7所述的一种碳化硅精磨后的金刚石磨料资源的回收方法,其特征在于:步骤5中干燥处理温度120~150℃,处理时间2~4h。
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