[发明专利]一种光学系统倍率色差的测量方法在审

专利信息
申请号: 202110294199.3 申请日: 2021-03-19
公开(公告)号: CN112985780A 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 张齐元;朱大勇;韩森;朱怀康;王浩宇 申请(专利权)人: 苏州维纳仪器有限责任公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 代理人: 郁旦蓉
地址: 215123 江苏省苏州市苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 光学系统 倍率 色差 测量方法
【权利要求书】:

1.一种光学系统倍率色差的测量方法,用于检测待测光学系统的倍率色差,其特征在于,包括以下步骤:

步骤S1,使用4种波长分别为λ1~λ4的平行光分别测量所述待测光学系统在一定角度的视场下的成像位置;

步骤S2,将所述视场的4个所述成像点位置代入公式:

中,计算得到Ai、Bi、Ci以及Di的数值,

i为所述视场;

步骤S3,改变所述平行光的所述入射角度,选取n个不同角度的所述视场,重复步骤S1~步骤S2,计算4种波长为λ1~λ4的所述平行光在n个所述视场下的所述成像位置;

步骤S4,选取所述倍率色差对应的波长λm以及波长λn,将步骤S3得到的n组Ai、Bi、Ci和Di带入公式(1),计算以及即得到波长λm以及波长λn的n个不同的所述视场下的所述成像位置;

步骤S5,分别将不同的所述视场下的him)以及hin)使用多项式公式拟合得到波长λm以及波长λn分别对应的视场与成像位置曲线y(λm)以及y(λn);

步骤S6,根据y(λm)以及y(λn)得到所述待测光学系统的波长λm以及波长λn的倍率色差曲线LΔnm)=y(λn)-y(λm),即得到波长λm以及波长λn之间的所述倍率色差。

2.一种光学系统倍率色差的测量方法,用于检测被测光学系统的倍率色差,其特征在于,包括以下步骤:

步骤T1,使用4种波长分别为λ1~λ4的平行光分别测量所述待测光学系统在一定角度的视场下的成像位置;

步骤T2,将所述视场的4个所述成像点位置代入公式:

中,计算得到Ai、Bi、Ci以及Di的数值,

i为所述视场;

步骤T3,改变所述平行光的所述入射角度,选取n个不同角度下的所述视场,重复步骤T1~步骤T2,计算4种波长为λ1~λ4的所述平行光在n个所述视场下的所述成像位置;

步骤T4,选取波长范围λp~λq的指定波长λ0,计算即得到所述指定波长λ0在n个不同的所述视场下的所述成像位置;

步骤T5,分别将步骤T4中得到的不同的所述视场下的hi0)使用所述多项式公式拟合得到视场与成像位置曲线y(λ0);

步骤T6,计算以及得到波长λp以及波长λq分别在n个不同的所述视场下的所述成像位置;

步骤T7,分别将不同的所述视场下的hip)以及hiq)使用所述多项式公式拟合得到波长λp以及波长λq分别对应的视场与成像位置曲线y(λp)以及y(λq);

步骤T8,根据所述待测光学系统的波长范围λp~λq与所述指定波长λ0的倍率色差曲线LΔp0)=y(λp)-y(λ0)~LΔq0)=y(λq)-y(λ0),即得到所述波长范围λp~λq相对于所述指定波长λ0的所述倍率色差。

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