[发明专利]喷墨头

说明书

喷墨头(100)具有被以d33模式驱动的压电元件(5)、利用压电元件(5)而产生压力的压力产生室(3)以及向压力产生室(3)供给墨的单独墨供给流路(48)。喷墨头(100)具有从压力产生室(3)排出墨的单独墨排出流路(49)以及将压力产生室(3)内的墨喷出的喷嘴(2)。在与喷嘴(2)的排列设置方向正交的方向的剖视下，压力产生室(3)、单独墨供给流路(48)以及单独墨排出流路(49)的内径在喷嘴(2)侧比在压电元件(5)侧短。由此，能够提供能够喷出高粘度的墨的喷墨头(100)。

技术领域

本发明涉及喷出墨的液滴的喷墨头。

背景技术

在制造电子器件或光学器件的情况下，多使用在基材上形成微细图案的方法。作为以低成本形成微细图案的方法，不需要印刷版的、能够通过墨液滴的喷出而在基材表面印刷所希望的微细图案的喷墨法受到了关注。

但是，为了得到上述器件的特性而以所希望的材料、膜厚进行印刷的情况下，需要使用高粘度(例如，超过10mPa秒的粘度)的墨。因此，若使用用途为在纸上印刷文字或图画的通常的喷墨头，则大多难以喷出高粘度的墨。

另外，即使在能够喷出高粘度的墨的喷墨头的情况下，在制造喷嘴时产生的喷嘴之间的结构也稍微有偏差。因此，由于墨的粘度，施加于墨压力的偏差变大。其结果是，存在每个喷嘴的墨的喷出特性产生偏差而不能形成所希望的印刷膜这样的课题。

对于上述课题，例如公开了日本特开2007-98806号公报(以下记为“专利文献1”)所记载的技术。图7是示出专利文献1所公开的喷墨头的剖面的示意图。

如图7所示，专利文献1的喷墨头构成利用压电元件76的驱动而从喷嘴71喷出墨液滴的装置。喷墨头具有由6片薄板构件62a～薄板构件62f构成的共通流路68以及从共通流路68供给墨的节流部70。薄板构件62c由SUS(Steel Use Stainless)板形成并成为节流部70的底板。薄板构件62d例如由聚酰亚胺等树脂板形成，并成为节流部70的流路部。

在上述喷墨头中，将薄板构件62c作为掩膜并对与薄板构件62c接合的薄板构件62d进行激光加工。由此，不会产生薄板构件62c与薄板构件62d的位置偏移，因此加工精度提高。

然而，在上述结构的情况下，没有考虑将成为顶板的薄板构件62e接合于节流部70的对置侧时的加工偏移、接合偏移。因此，不能完全地抑制由于加工偏移、接合偏移而引起的节流部70的流路阻力的偏差。另外，由于以d31模式驱动压电元件76，因此在使用高粘度的墨的情况下，墨从喷嘴71的喷出特性的偏差变得显著。也就是说，在d31模式(长度伸缩模式)下，虽然位移量大，但转矩小。因此，由于流路阻力的偏差而使位移产生偏差。

发明内容

本发明提供一种没有喷嘴之间的偏差且能够喷出高粘度的墨的喷墨头。

本发明的一方案的喷墨头具有：压电元件，其被以d33模式驱动；压力产生室，其设置于压电元件的下方，且利用压电元件的驱动而产生压力；以及单独墨供给流路，其与压力产生室连通，且向压力产生室供给墨。喷墨头还具有：单独墨排出流路，其与压力产生室连通，且从压力产生室排出墨；以及喷嘴，其设置于压力产生室的下方，且将压力产生室内的墨喷出。并且，在与喷嘴的排列设置方向正交的方向的剖视下，压力产生室、单独墨供给流路以及单独墨排出流路各自的内径在喷嘴侧比在压电元件侧短。

根据本发明，能够提供一种没有喷嘴之间的偏差且能够喷出高粘度的墨的喷墨头。

附图说明

图1A是示出本发明的实施方式1的喷墨头的剖面的示意图。

图1B是图1A的1B-1B剖视图。

图1C是示出在图1A的喷墨头中从压力产生室漏出的压力波的行进方向的示意图。

图1D是示出比较例的喷墨头的剖面的示意图。