[发明专利]具有多个堆叠层的偏振器

说明书

本发明涉及具有多个堆叠层的偏振器，涉及偏振器的结构以及形成偏振器的结构的方法。第一槽形波导组件位于第一波导芯上方，以及第二槽形波导组件位于该第一槽形波导组件上方。该第一槽形波导组件包括通过第一凹槽隔开的第二波导芯与第三波导芯，以及该第二槽形波导组件包括通过第二凹槽隔开的第四波导芯与第五波导芯。该第一波导芯与该第一凹槽及该第二凹槽横向对齐。

技术领域

本发明涉及光子芯片(photonics chip)，尤其涉及偏振器(polarizer)的结构以及形成偏振器的结构的方法。

背景技术

光子芯片用于许多应用及系统中，例如数据通信系统以及数据计算系统。光子芯片将光学组件(例如波导、光学开关，以及偏振器)与电子组件(例如场效应晶体管)集成于统一的平台中。除其它因素以外，布局面积、成本以及操作开销可通过两种类型组件的集成来减小。

偏振器是光子芯片中常见的一种光学组件。偏振器经配置以接收包含多种模式(例如，横电(transverse electric；TE)模式及横磁(transverse magnetic；TM)模式)的光学信号并仅允许一种模式传播，同时消除另一种模式。

需要改进的偏振器的结构以及形成偏振器的结构的方法。

发明内容

在本发明的一个实施例中，提供一种偏振器的结构。该结构包括第一波导芯(waveguide core)，位于该第一波导芯上方的第一槽形(slotted)波导组件，以及位于该第一槽形波导组件上方的第二槽形波导组件。该第一槽形波导组件包括通过第一凹槽隔开的第二波导芯与第三波导芯，以及该第二槽形波导组件包括通过第二凹槽隔开的第四波导芯与第五波导芯。该第一波导芯与该第一凹槽及该第二凹槽横向对齐。

在本发明的一个实施例中，提供一种形成偏振器的方法。该方法包括形成第一波导芯，形成位于该第一波导芯上方的第一槽形波导组件，以及形成位于该第一槽形波导组件上方的第二槽形波导组件。该第一槽形波导组件包括通过第一凹槽隔开的第二波导芯与第三波导芯，且该第二槽形波导组件包括通过第二凹槽隔开的第四波导芯与第五波导芯。该第一波导芯与该第一凹槽及该第二凹槽横向对齐。

附图说明

包含于并构成本说明书的一部分的附图示例说明本发明的各种实施例，并与上面所作的有关本发明的概括说明以及下面所作的有关该些实施例的详细说明一起用以解释本发明的该些实施例。在该些附图中，类似的附图标记表示不同视图中类似的特征。

图1显示依据本发明的实施例包括处于制程方法的初始制造阶段的结构的光子芯片的示意顶视图。

图2显示大体沿图1中的线2-2所作的该结构的剖视图。

图3显示处于图1之后的该制程方法的制造阶段的该结构的示意顶视图。

图4显示大体沿图3中的线4-4所作的该结构的剖视图。

图5显示处于图3之后的该制程方法的制造阶段的该结构的示意顶视图。

图6显示大体沿图5中的线6-6所作的该结构的剖视图。

图7显示处于图6之后的制造阶段的该结构的剖视图。

图8-10显示依据本发明的替代实施例处于制程方法的连续制造阶段的结构的剖视图。

具体实施方式

请参照图1、2并依据本发明的实施例，偏振器的结构10包括位于介电层20上方的一段(section)的波导芯12。该段的波导芯12可沿蛇形路径延伸，多个拐弯(bend)14提供交替的方向变化。在一个实施例中，拐弯14可为一系列互连的90°拐弯。波导芯12可具有侧表面16、18以及以侧表面16、18之间的垂直距离测量的宽度w1。波导芯12包括将未偏振的激光引导至结构10的段13，以及将已偏振的激光引导离开结构10的段15。拐弯14纵向设置于段13与段15之间。