[发明专利]弹性波器件和滤波器

说明书

弹性波器件和滤波器，能够调整机电耦合系数。弹性波器件具有：压电层(14)；一对电极，其夹着压电层(14)，在压电层(14)激励出厚度剪切振动；以及附加膜(26a、26b)，其具有比一对电极中的至少一方的密度小的密度，设置于所述一对电极夹着压电层(14)的至少一部分而重叠的谐振区域(50)中的如下部位中的至少一个部位：所述一对电极的至少一个电极与压电层(14)之间、一对电极的至少一个电极内、以及一对电极的至少一个电极的与压电层(14)相反一侧。

技术领域

本发明涉及弹性波器件和滤波器，例如涉及具有谐振器的弹性波器件和滤波器。

背景技术

作为移动电话等无线终端的高频电路用的滤波器和双工器，使用FBAR(Film BulkAcoustic Resonator：薄膜体声波谐振器)和SMR(Solid Mounted Resonator：固态装配型谐振器)等BAW(Bulk Acoustic Wave：体声波)谐振器。BAW谐振器被称作压电薄膜谐振器。压电薄膜谐振器具有夹着压电膜设置一对电极的构造，一对电极夹着压电膜的至少一部分而对置的谐振区域是弹性波进行谐振的区域。

在压电薄膜谐振器中，弹性波在谐振区域的周边部反射，当在谐振区域内形成驻波时，成为不必要的杂散。因此，公知在谐振区域内的边缘区域追加附加膜来控制声速，从而抑制杂散(例如专利文献1)。

专利文献1：日本特开2008-42871号公报

当压电膜使用钽酸锂、铌酸锂或水晶等单晶压电体时，谐振区域内的振动成为厚度剪切振动。利用厚度剪切振动的弹性波器件具有较大的机电耦合系数。但是，当滤波器等使用谐振器时，要求调整机电耦合系数而不使谐振特性大幅劣化。

发明内容

本发明正是鉴于上述课题而完成的，其目的在于，能够调整机电耦合系数。

本发明是一种弹性波器件，该弹性波器件具有：压电层；一对电极，其夹着所述压电层，在所述压电层激励出厚度剪切振动；以及附加膜，其具有比所述一对电极中的至少一方的密度小的密度，设置于所述一对电极夹着所述压电层的至少一部分而重叠的谐振区域中的如下部位中的至少一个部位：所述一对电极的至少一个电极与所述压电层之间、所述一对电极的至少一个电极内、以及所述一对电极的至少一个电极的与所述压电层相反一侧。

在上述结构中，能够构成为，所述附加膜是具有比所述压电层的相对介电常数低的相对介电常数的绝缘膜。

在上述结构中，能够构成为，所述一对电极以选自钌、铬、铜、钼、钨、钽、铂、铑和铱的金属为主要材料，所述附加膜以密度为铝以下的金属为主要材料。

在上述结构中，能够构成为，所述压电层是旋转Y切铌酸锂基板。

在上述结构中，能够构成为，所述压电层是X切钽酸锂基板。

在上述结构中，能够构成为，所述弹性波器件具有第2附加膜，在俯视观察所述一对电极中的一方时，该第2附加膜未设置于包含所述谐振区域的重心的区域即中央区域，该第2附加膜的至少一部分设置于边缘区域，该边缘区域是所述谐振区域中的夹着所述中央区域且所述中央区域以外的区域。

在上述结构中，能够构成为，所述附加膜由1个或多个膜形成，所述附加膜的合计厚度大于0且为所述压电层的厚度的0.18倍以下。

本发明是一种滤波器，该滤波器具有：第1谐振器，其在所述弹性波器件的谐振区域中还包含密度比所述附加膜高的频率调整膜；以及第2谐振器，其与所述第1谐振器共用相同的压电层，具有夹着所述压电层且在所述压电层激励出厚度剪切振动的一对电极，在俯视观察时所述一对电极夹着所述压电层的至少一部分而重叠的谐振区域中的所述一对电极的至少一个电极与所述压电层之间、所述一对电极的至少一个电极内、以及所述一对电极的至少一个电极的与所述压电层相反一侧，均未设置附加膜和频率调整膜。