[发明专利]弹性波器件和滤波器

权利要求书

1.一种弹性波器件，该弹性波器件具有：

压电层；

一对电极，其夹着所述压电层，在所述压电层激励出厚度剪切振动；以及

附加膜，其具有比所述一对电极中的至少一方的密度小的密度，设置于所述一对电极夹着所述压电层的至少一部分而重叠的谐振区域中的如下部位中的至少一个部位：所述一对电极的至少一个电极与所述压电层之间、所述一对电极的至少一个电极内、以及所述一对电极的至少一个电极的与所述压电层相反一侧。

2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，

所述附加膜是具有比所述压电层的相对介电常数低的相对介电常数的绝缘膜。

3.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，

所述一对电极以选自钌、铬、铜、钼、钨、钽、铂、铑和铱的金属为主要材料，所述附加膜以密度为铝以下的金属为主要材料。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的弹性波器件，其中，

所述压电层是旋转Y切铌酸锂基板。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的弹性波器件，其中，

所述压电层是X切钽酸锂基板。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的弹性波器件，其中，

所述弹性波器件具有第2附加膜，在俯视观察所述一对电极中的一方时，该第2附加膜未设置于包含所述谐振区域的重心的区域即中央区域，该第2附加膜的至少一部分设置于边缘区域，该边缘区域是所述谐振区域中的夹着所述中央区域且所述中央区域以外的区域。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的弹性波器件，其中，

所述附加膜由1个或多个膜形成，所述附加膜的合计厚度大于0且为所述压电层的厚度的0.18倍以下。

8.一种滤波器，该滤波器具有：

第1谐振器，其在权利要求1～7中的任意一项所述的弹性波器件的谐振区域中还包含密度比所述附加膜高的频率调整膜；以及

第2谐振器，其与所述第1谐振器共用相同的压电层，具有夹着所述压电层且在所述压电层激励出厚度剪切振动的一对电极，在俯视观察时所述一对电极夹着所述压电层的至少一部分而重叠的谐振区域中的所述一对电极的至少一个电极与所述压电层之间、所述一对电极的至少一个电极内、以及所述一对电极的至少一个电极的与所述压电层相反一侧，均未设置附加膜和频率调整膜。

9.一种滤波器，该滤波器具有：

第1谐振器，其包含权利要求1～7中的任意一项所述的弹性波器件；以及

第2谐振器，其包含权利要求1～7中的任意一项所述的弹性波器件，

所述第1谐振器和所述第2谐振器的所述附加膜分别由1个或多个膜形成，

所述第2谐振器的所述附加膜的合计厚度比所述第1谐振器的所述附加膜的合计厚度小。

10.根据权利要求8或9所述的滤波器，其中，

所述滤波器具有：

输入端子；

输出端子；

1个或多个串联谐振器，其设置于连接所述输入端子和所述输出端子的路径，分别是所述第1谐振器；以及

并联谐振器，其一端与所述路径连接，另一端接地，分别是所述第2谐振器。

11.一种弹性波器件，该弹性波器件具有：

压电层，其是X切钽酸锂基板或旋转Y切铌酸锂基板；

一对电极，其夹着所述压电层；以及

附加膜，其具有比所述一对电极中的至少一方的密度小的密度，设置于所述一对电极夹着所述压电层的至少一部分而重叠的谐振区域中的如下部位中的至少一个部位：所述一对电极的至少一个电极与所述压电层之间、所述一对电极的至少一个电极内、以及所述一对电极的至少一个电极的与所述压电层相反一侧。