[发明专利]一种掩膜版固定转移机械系统

说明书

本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版固定转移机械系统，包括垂直通道和十字水平通道，垂直通道竖直插设于十字水平通道的中心处并与之连通设置，垂直通道的底部下垂于十字水平通道的下方，垂直通道的内底部固定连接有液压杆，液压杆的端部固定连接有转运机构，十字水平通道内铺设有多条相互平行的轨道槽，轨道槽内设有多个轨道轮，十字水平通道上固定连接有驱动机构，驱动机构与多根皮带传动连接。优点在于：本发明可通过专用的使用运输通道来进行使用存储两者之间的对接，使其不会直接暴露在外部环境中，从而更好的防止掩膜版本身受到伤害，进一步降低掩膜版受到损坏的概率，同时调度更加方便快捷，提高了作业的效率和安全性。

技术领域

本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版固定转移机械系统。

背景技术

光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构,掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC(Integrated Circuit，集成电路)、FPD(Flat Panel Display，平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards，印刷电路板)、MEMS(Micro ElectroMechanical Systems，微机电系统)等。

掩膜版是一种较为精密的器件，其在使用后通常还需要进行清洁保养和安全的存储，在需要使用时再将其从库中取出进行使用，在此步骤转运的过程中，掩膜版的边缘容易受到侵蚀，同时其表面在人为转运的过程中容易出现意外伤害，严重者易导致板面的报废，同时非严密环境下也容易堆积灰尘等细微杂质，不便于使用。

为此，我们提出一种掩膜版固定转移机械系统来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题，提供一种可调度更加方便快捷，提高作业的效率和安全性的掩膜版固定转移机械系统。

为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种掩膜版固定转移机械系统，包括垂直通道和十字水平通道，所述垂直通道竖直插设于十字水平通道的中心处并与之连通设置，所述垂直通道的底部下垂于十字水平通道的下方，所述垂直通道的内底部固定连接有液压杆，所述液压杆的端部固定连接有转运机构，所述十字水平通道内铺设有多条相互平行的轨道槽，所述轨道槽内设有多个轨道轮，所述轨道轮与轨道槽通过连接轴转动连接，所述连接轴上同轴固定连接有第一皮带圈，多个所述第一皮带圈通过同一根皮带传动连接，所述十字水平通道上固定连接有驱动机构，所述驱动机构与多根皮带传动连接。

在上述的掩膜版固定转移机械系统中，所述转运机构包括固定连接于液压杆上端的转移块，所述转移块的中心处设有圆形凹槽，所述圆形凹槽的中心处固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机的驱动轴处固定连接有转动盘，所述圆形凹槽的内壁上设有滑槽，所述滑槽内设有多个与之相匹配的滑块，多块所述滑块均与转动盘的内壁固定连接，所述转动盘上设有嵌槽，所述嵌槽内固定连接有传送带，所述传送带上设有转运组件。

在上述的掩膜版固定转移机械系统中，所述转运组件包括转移板，所述转移板上设有转运槽，所述转移板内设有空腔，所述空腔内固定连接有气泵，所述转移板中嵌合有多块电池，所述电池与气泵电性连接，所述空腔的顶部开设有多个与转运槽连通的气孔。

在上述的掩膜版固定转移机械系统中，所述转运槽的内壁上固定连接有多条缓冲软条。

在上述的掩膜版固定转移机械系统中，所述转移板的外侧壁上设有多个壁槽，所述壁槽内转动连接有防碰撞轮，所述防碰撞轮为橡胶材质。

在上述的掩膜版固定转移机械系统中，所述转移板的底部刻有二维码，所述十字水平通道的底部固定连接有多个扫码器。

在上述的掩膜版固定转移机械系统中，所述十字水平通道的两侧均固定连接有楔形块，所述楔形块的两端边缘处与轨道槽平齐。