[发明专利]光学测定方法、光学测定装置及光学测定程序

说明书

本发明涉及光学测定方法、光学测定装置及光学测定程序。其技术问题是使用简易的测定机构测定分光光谱，确定该分光光谱中包括的峰值或谷值的次数并且测定准确的延迟。本发明的光学测定方法，包括：对样品测定分光光谱的步骤；使用第一波长色散公式按峰值或谷值表示的每个波长计算样品的厚度，并且在基于计算出的厚度的评价值最大的条件下，临时决定第一波长色散公式所包括的系数的步骤；在多种条件下设定特定的峰值的次数，根据设定的多个条件，计算第二波长色散公式的步骤；基于包括临时决定的系数的第一波长色散公式和第二波长色散公式，确定特定的峰值的次数，并且基于确定的次数和第二波长色散公式，正式决定系数的步骤；计算延迟的步骤。

技术领域

本发明涉及光学测定方法、光学测定装置及光学测定程序。

背景技术

以往，已知一种光学测定装置，通过一边使样品在平面方向上旋转一边测定样品与偏振镜和检偏镜的位置关系，来求出光学次数和延迟(retardation)(参照下述专利文献1和专利文献2)。此外，也有在已知样品的双折射率或样品的厚度中的一方的情况下，测定延迟的方法(参照下述专利文献3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11－211656号公报

专利文献2：日本特开2003－172691号公报

专利文献3：日本特开2003－240678号公报

如专利文献1和专利文献2所述，在使样品与偏振光学系统所成的角度变化为多种角度并进行测定的情况下，在测定装置中需要使样品或偏振光学系统倾斜的驱动机构。此外，特别是在样品的延迟高的情况下，难以确定次数，难以进行准确的延迟的测定。在专利文献3的光学测定方法中，如果样品的双折射率或样品的厚度中的至少一方不是已知的，那么就不能测定延迟的波长色散。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于使用简易的测定机构测定分光光谱，确定该分光光谱所包括的峰值或谷值的次数并且测定准确的延迟。

用于解决问题的方案

为了解决上述技术问题，本发明的光学测定方法的特征在于，包括：对样品在规定的波长区域内测定包括多个峰值和谷值的分光光谱的步骤；使用包括在多个条件下设定的系数的第一波长色散公式，按所述峰值或所述谷值表示的每个波长计算所述样品的厚度，并且在基于所述计算出的厚度的评价值最大的所述条件下，临时决定所述第一波长色散公式所包括的系数的步骤；在多种条件下设定所述多个峰值中包括的特定的峰值的次数，根据设定的多个条件，基于所述多个峰值的各次数和波长，计算第二波长色散公式的步骤；基于包括临时决定的所述系数的第一波长色散公式和所述第二波长色散公式，确定所述特定的峰值的次数，并且基于所确定的次数和所述第二波长色散公式，正式决定所述系数的步骤；以及基于包括所述正式决定的所述系数的所述第二波长色散公式，计算延迟的步骤。

此外，本发明的光学测定装置的特征在于，具备：测定部，对样品在规定的波长区域内测定包括多个峰值和谷值的分光光谱；临时决定部，使用包括在多个条件下设定的系数的第一波长色散公式，按所述峰值或所述谷值表示的每个波长计算所述样品的厚度，并且在基于所述计算出的厚度的评价值最大的所述条件下，临时决定所述第一波长色散公式所包括的系数；第二波长色散公式计算部，在多种条件下设定所述多个峰值中包括的特定的峰值的次数，根据设定的多个条件，基于所述多个峰值的各次数和波长，计算第二波长色散公式；正式决定部，基于包括临时决定的所述系数的第一波长色散公式和所述第二波长色散公式，确定所述特定的峰值的次数，并且基于所确定的次数和所述第二波长色散公式，正式决定所述系数；以及延迟计算部，基于包括所述正式决定的所述系数的所述第二波长色散公式，计算延迟。