[发明专利]光学测定方法、光学测定装置及光学测定程序

权利要求书

1.一种光学测定方法，其特征在于，包括：

对样品在规定的波长区域内测定包括多个峰值和谷值的分光光谱的步骤；

使用包括在多个条件下设定的系数的第一波长色散公式，按所述峰值或所述谷值表示的每个波长计算所述样品的厚度，并且在基于所述计算出的厚度的评价值最大的所述条件下，临时决定所述第一波长色散公式所包括的系数的步骤；

在多种条件下设定所述多个峰值中包括的特定的峰值的次数，根据设定的多个条件，基于所述多个峰值的各次数和波长，计算第二波长色散公式的步骤；

基于包括临时决定的所述系数的第一波长色散公式和所述第二波长色散公式，确定所述特定的峰值的次数，并且基于所确定的次数和所述第二波长色散公式，正式决定所述系数的步骤；以及

基于包括所述正式决定的所述系数的所述第二波长色散公式，计算延迟的步骤。

2.根据权利要求1所述的光学测定方法，其特征在于，

所述第一波长色散公式和所述第二波长色散公式是柯西波长色散公式。

3.根据权利要求1或2所述的光学测定方法，其特征在于，

所述分光光谱是平行尼科尔光谱。

4.根据权利要求1所述的光学测定方法，其特征在于，

所述评价值是所述计算出的厚度的波长相关性越小则其值就越大。

5.根据权利要求1所述的光学测定方法，其特征在于，

所述评价值是所述计算出的厚度的标准偏差越小则其值就越大。

6.根据权利要求1所述的光学测定方法，其特征在于，还包括：

变更光的行进方向与所述样品的表面所成的角度的步骤；

在维持所述角度的状态下测定所述分光光谱，基于包括所述正式决定的所述系数的所述第二波长色散公式，测定延迟的步骤；以及

基于通过重复执行规定次数的变更所述角度的步骤和测定所述延迟的步骤而计算出的多个延迟，计算所述样品的厚度方向相位差或三维折射率的步骤。

7.一种光学测定装置，其特征在于，具备：

测定部，对样品在规定的波长区域内测定包括多个峰值和谷值的分光光谱；

临时决定部，使用包括在多个条件下设定的系数的第一波长色散公式，按所述峰值或所述谷值表示的每个波长计算所述样品的厚度，并且在基于所述计算出的厚度的评价值最大的所述条件下，临时决定所述第一波长色散公式所包括的系数；

第二波长色散公式计算部，在多种条件下设定所述多个峰值中包括的特定的峰值的次数，根据设定的多个条件，基于所述多个峰值的各次数和波长，计算第二波长色散公式；

正式决定部，基于包括临时决定的所述系数的第一波长色散公式和所述第二波长色散公式，确定所述特定的峰值的次数，并且基于所确定的次数和所述第二波长色散公式，正式决定所述系数；以及

延迟计算部，基于包括所述正式决定的所述系数的所述第二波长色散公式，计算延迟。

8.一种光学测定程序，由在光学测定装置中使用的计算机执行，其特征在于，所述光学测定程序使所述计算机执行：

对样品在规定的波长区域内测定包括多个峰值和谷值的分光光谱的步骤；

使用包括在多个条件下设定的系数的第一波长色散公式，按所述峰值或所述谷值表示的每个波长计算所述样品的厚度，并且在基于所述计算出的厚度的评价值最大的所述条件下，临时决定所述第一波长色散公式所包括的系数的步骤；

在多种条件下设定所述多个峰值中包括的特定的峰值的次数，根据设定的多个条件，基于所述多个峰值的各次数和波长，计算第二波长色散公式的步骤；

基于包括临时决定的所述系数的第一波长色散公式和所述第二波长色散公式，确定所述特定的峰值的次数，并且基于所确定的次数和所述第二波长色散公式，正式决定所述系数的步骤；以及

基于包括所述正式决定的所述系数的所述第二波长色散公式，计算延迟的步骤。