[发明专利]一种实现免洗靶功能的封闭靶仓设备

权利要求书

1.一种实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，包括舱体和溅射靶，所述溅射靶设于所述舱体内；所述舱体外还设有：门框、舱门和锁紧装置，所述舱体上设有开口，所述门框安装于所述开口上，所述舱门与所述门框相配合实现对所述舱体的关闭与打开；所述溅射靶朝向所述舱门的方向设置；所述锁紧装置作用于所述舱门，将所述舱门锁紧于所述门框上或将所述舱门从所述门框上解锁，所述舱门锁紧于所述门框上时，所述舱体形成一密闭容器。

2.根据权利要求1所述的实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置设于所述舱体外，其动力输出端连接于所述锁紧装置。

3.根据权利要求2所述的实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，所述锁紧装置包括：一伸缩杆和一拉手，所述伸缩杆一端连接于所述第一驱动装置的动力输出端，另一端连接于所述拉手，所述拉手随所述伸缩杆前后移动，并随所述伸缩杆转动以抵触于所述舱门上实现锁紧操作，或与所述舱门相脱离实现解锁操作。

4.根据权利要求3所述的实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，所述锁紧装置和所述第一驱动装置的数量均为4，4个所述锁紧装置分别作用于所述舱门的左上侧、左下侧、右上侧和右下侧。

5.根据权利要求4所述的实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，所述舱门为一平移门，所述舱体还包括一第二驱动装置，所述第二驱动装置的动力输出端连接于所述舱门上，控制所述舱门移动。

6.根据权利要求5所述的实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，所述舱体还包括若干弹性拉杆，每一所述弹性拉杆一端连接于所述门框上，另一端连接于所述舱门上。

7.根据权利要求1所述的实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，所述门框的与所述舱门相对的一面上和/或所述舱门的与所述门框相对的一面上还设有密封槽，所述密封槽内设有密封胶圈。

8.根据权利要求1所述的实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，所述溅射靶为一平面靶或圆柱靶。

9.根据权利要求1-4、7、8任一项所述的实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，所述舱门为一转动门，所述舱门转动连接于所述门框上。

10.根据权利要求9所述的实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，其特征在于，还包括一第三驱动装置，所述第三驱动装置的动力输出端连接于所述舱门上。