[发明专利]灰化设备及灰化方法

权利要求书

1.一种灰化设备，其特征在于，包括：

反应室，用于晶圆的灰化处理，得到灰化后晶圆；

传送通道，与所述反应室相连接，用于传送所述灰化后晶圆至冷却室；以及

所述冷却室，与所述传送通道相连接以接收所述灰化后晶圆，并用于所述灰化后晶圆的冷却，

其中，所述灰化处理的温度为第一温度；

所述传送通道中的至少一部分的温度为第二温度；

所述冷却室的温度为第三温度；

所述第二温度低于所述第一温度，所述第三温度低于所述第二温度；

所述传送通道设置有加热单元，所述加热单元用于所述传送通道的加热。

2.根据权利要求1所述的灰化设备，其特征在于，所述反应室还包括：

静电吸附盘，用于放置所述晶圆，

其中，进行所述灰化处理时，所述静电吸附盘的温度为所述第一温度。

3.根据权利要求1所述的灰化设备，其特征在于，所述传送通道还包括：

温度感测单元，用于检测所述传送通道中的温度，

其中，所述加热单元根据所述温度感测单元检测的温度对所述传送通道进行加热，以控制所述传送通道中的至少一部分的温度维持在所述第二温度。

4.根据权利要求1所述的灰化设备，其特征在于，所述灰化设备还包括：

晶圆传送盒，与所述冷却室相连接，以接收在所述冷却室中冷却后的所述灰化后晶圆。

5.根据权利要求1至4任一项所述的灰化设备，其特征在于，所述传送通道还包括：

真空传送模块，与所述反应室相连接，以接收反应室传送来的所述灰化后晶圆；

预真空传送模块，与所述真空传送模块相连接，以接收经所述真空传送模块传来的所述灰化后晶圆；以及

大气传送模块，与所述预真空传送模块相连接，以接收经所述预真空传送模块传来的所述灰化后晶圆。

6.根据权利要求5所述的灰化设备，其特征在于，所述真空传送模块中的温度为所述第二温度。

7.根据权利要求5所述的灰化设备，其特征在于，所述预真空传送模块中的温度为所述第二温度。

8.根据权利要求5所述的灰化设备，其特征在于，所述真空传送模块为一腔体；所述真空传送模块设置有：

腔壁；

加热单元，设置在所述腔壁内，用于所述腔体内部的加热；以及

温度感测单元，所述温度感测单元的至少一部分设置在所述腔体内部，用于检测所述腔体内部的温度，

其中，所述加热单元根据所述温度感测单元检测的温度对所述腔体内部进行加热，以维持所述腔体内部的温度为所述第二温度。

9.一种灰化方法，其特征在于，利用如权利要求1-8中任一项所述的灰化设备，包括：

将晶圆在第一温度下进行灰化反应，得到灰化后晶圆；

对所述灰化后晶圆进行传送，传送过程中的至少一段处于第二温度下；以及

所述灰化后晶圆在第三温度下进行冷却，

其中，所述第二温度低于所述第一温度，所述第三温度低于所述第二温度。