[发明专利]一种颗粒硅区熔检测采样装置有效
| 申请号： | 202110254573.7 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113008622B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 张孝山;汪成洋;陈斌;宗冰 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/10 | 分类号： | G01N1/10 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 张巨箭 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒 硅区熔 检测 采样 装置 | ||
1.一种颗粒硅区熔检测采样装置，包括区熔炉（1）和在区熔炉（1）内部从上到下依次设置的籽晶夹持器（2）、加热线圈（3）、颗粒硅容纳装置，其特征在于：
所述颗粒硅容纳装置包括多组不同口径的容纳管（4），用于容纳不同尺寸的颗粒硅（41），所述容纳管（4）为高纯硅管，所述颗粒硅（41）的尺寸与对应容纳管（4）的口径匹配；所述颗粒硅（41）在容纳管（4）中竖直成一排排列；所述籽晶夹持器（2）固定在可移动上轴（7）上；所述籽晶夹持器（2）上夹持有籽晶（8）；
所述容纳管（4）具有上端口，所述上端口位于所述加热线圈（3）下方，所述容纳管（4）的底端连接有氩气管道（6）；
所述氩气管道（6）将向所述容纳管（4）中通入氩气将颗粒硅（41）吹至籽晶下方，让颗粒硅（41）一颗一颗逐个粘连至籽晶制成检测样棒，并从下至上在检测样棒的8cm处切下一个切片，得到检测样本。
2.根据权利要求1所述的一种颗粒硅区熔检测采样装置，其特征在于：所述区熔炉上设置有氩气管道（6），该氩气管道（6）用于对区熔炉（1）内部进行保护。
3.根据权利要求1所述的一种颗粒硅区熔检测采样装置，其特征在于：所述区熔炉（1）为磷检炉，所述籽晶（8）为方形或圆柱体。
4.根据权利要求1所述的一种颗粒硅区熔检测采样装置，其特征在于：所述加热线圈（3）为高频感应线圈。
5.根据权利要求1或2所述的一种颗粒硅区熔检测采样装置，其特征在于：所述氩气管道（6）上设有控制阀（9）。
6.根据权利要求5所述的一种颗粒硅区熔检测采样装置，其特征在于：所述装置还包括控制柜（10），所述控制柜（10）与所述控制阀（9）连接。
7.根据权利要求6所述的一种颗粒硅区熔检测采样装置，其特征在于：所述容纳管（4）设置在容纳管驱动装置（5）上，所述控制柜（10）与所述容纳管驱动装置（5）连接。
8.根据权利要求5所述的一种颗粒硅区熔检测采样装置，其特征在于：所述控制阀（9）为脉冲电磁阀。
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