[发明专利]一种晶圆传片系统

权利要求书

1.一种晶圆传片系统，其特征在于，包括：

传输腔；

反应腔，与所述传输腔相邻设置；

机械导轨(29)，设置在所述传输腔中，并且所述机械导轨(29)的其中一端设置在所述传输腔靠近所述反应腔的侧壁上；

晶圆转移结构，设置在所述机械导轨(29)上，所述晶圆转移结构上设置有适于放置晶圆的晶圆容纳腔；

旋转气缸(10)，通过驱动臂(28)与所述晶圆转移结构连接；在所述旋转气缸(10)的驱动作用下，所述晶圆转移结构适于在所述机械导轨(29)上滑动并将晶圆从所述传输腔转移至所述反应腔。

2.根据权利要求1所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述晶圆转移结构包括机械平台(31)，所述机械平台(31)设置有导向槽(26)；所述驱动臂(28)靠近所述晶圆转移结构的一端设置有滑块(27)，所述滑块(27)适于在所述导向槽(26)内滑动。

3.根据权利要求2所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述传输腔包括：

第一限位组件，包括第一限位开关(1)和第二限位开关(2)；

所述第一限位开关(1)，设置在所述传输腔的侧壁上，且位于所述机械导轨(29)其中一端的上方；

所述第二限位开关(2)，设置在所述传输腔的侧壁上，且位于所述机械导轨(29)另一端的上方。

4.根据权利要求3所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述晶圆转移结构还包括：

连接部(17)和载片部(25)，所述载片部(25)上设置有所述晶圆容纳腔；所述连接部(17)的一端设置在所述机械平台(31)上，所述连接部(17)的另一端设置有所述载片部(25)；

晶圆检测开关(3)，设置在所述载片部(25)靠近所述连接部(17)的一端。

5.根据权利要求4所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述载片部(25)呈环状。

6.根据权利要求3-5任一项所述的晶圆传片系统，其特征在于，还包括：

分离门(18)，设置于所述传输腔和所述反应腔之间；所述分离门(18)具有使所述传输腔和所述反应腔连通的打开状态，以及使所述传输腔和所述反应腔相分离的关闭状态；

所述分离门(18)与所述第一限位开关(1)和第二限位开关(2)中的至少一个通信连接。

7.根据权利要求3-5任一项所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述反应腔还包括：

压盘(15)，设置在所述反应腔内；

底座放片台(30)，位于所述压盘(15)的下方；所述底座放片台(30)的台面适于放置晶圆；所述底座放片台(30)的内部设置有顶针部；所述底座放片台(30)开设有适于顶针伸出的通孔；在外力作用下，所述底座放片台(30)具有与所述压盘(15)贴合的第一位置，以及远离所述压盘(15)的第二位置；

所述顶针部，设置有多根顶针(14)，所述顶针部设置在所述底座放片台(30)内；在外力作用下，所述顶针部具有使顶针(14)伸出所述底座放片台(30)的第一位置，以及收回所述底座放片台(30)的第二位置。

8.根据权利要求7所述的晶圆传片系统，其特征在于，还包括：

第一升降气缸(13)，通过第一驱动部与所述底座放片台(30)连接，并与晶圆检测开关(3)通信连接；在所述第一升降气缸(13)的驱动作用下，所述底座放片台(30)具有与所述压盘(15)贴合的第一位置，以及远离所述压盘(15)的第二位置。

9.根据权利要求7所述的晶圆传片系统，其特征在于，还包括：

第二升降气缸(12)，通过第二驱动部与所述顶针(14)连接，并与晶圆检测开关(3)通信连接；在所述第二升降气缸(12)的驱动作用下，所述顶针部具有伸出所述底座放片台(30)的第一位置，以及收回所述底座放片台(30)内的第二位置。