[发明专利]一种应力调节微米LED在审
申请号: | 202110251011.7 | 申请日: | 2021-03-08 |
公开(公告)号: | CN112909142A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 魏伟;苗中正;张洋 | 申请(专利权)人: | 盐城师范学院 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/44 |
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地址: | 224007 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应力 调节 微米 led | ||
本发明提供一种应力调节微米LED,包括衬底;正电极结构部件;应力调节部件;负电极结构部件;负电极结构部件与正电极结构部件连接通道。本发明的一种制造应力调节微米LED的方法,使其通过应力调节部件对PN结区域产生应力,产生极化,产生电流的不均匀分布,避免普通微米LED电流均匀化严重和极化效果不明显,提高微米LED的发光效率,同时通过增加绝缘应力调节部件刻蚀区代替微米LED芯片的半导体材料刻蚀区,避免了侧壁损伤带来的表面非辐射辐射效应,提高微米LED芯片的出光效率,具有节能环保,结构简单等特点,具有极大的应用市场。
技术领域
本发明涉及一种LED结构,尤其涉及一种应力调节微米LED,属于微米LED技术领域。
背景技术
LED芯片的衬底和PN结材料的晶格失配,且普通尺寸的LED芯片面积较大,所以LED芯片的衬底和PN结材料产生很大的应力,此应力会在LED芯片有源区产生很大的极化效应,导致LED芯片电流分布不均匀,而这些都有助于提高LED芯片的出光效率,现有的微米LED技术不够成熟,由于微米LED的尺寸较小,使得微米LED的应力释放明显,微米LED芯片的衬底和PN结材料产生的应力相比较普通LED芯片的应力很小,所以微米LED芯片有源区的极化效应不明显,这使得微米LED芯片的电流非常均匀,而这些都大大降低了微米LED的出光效率。此外微米LED芯片的表面积体积比相比较普通微米LED芯片要大的多,现有的微米LED经过侧壁刻蚀后带来的损伤比较严重,此损失会因为微米LED芯片的表面积体积比更大而更大,因为表面效应占比会更大,会导致现有微米LED载流子在侧表面带来严重的非辐射复合,严重降低了现有微米LED的出光效率,现有的方法可以通过后期处理来改善,改善效果有限且不能彻底解决这个问题,现有的微米LED芯片缺乏一种根本上解决侧表面损伤带来的低出光效率的方法。
针对现有技术的不足,本领域的技术人员发明一种应力调节微米LED,来解决微米LED的应力分布和侧壁损伤带来的非辐射复合效应问题,提高微米LED的发光效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可以提高出光效率的应力调节微米LED。
本发明所要解决的技术问题是通过以下技术方案实现的:一种应力调节微米LED,其特征在于:所述LED包括:
衬底;
正电极结构部件;
应力调节部件:应力调节部件为环状中孔部件或侧面带有缺口的环状中孔部件,应力调节部件位于衬底的上端,应力调节部件环绕正电极结构部件,应力调节部件的热膨胀系数与正电极结构部件中的半导体材料(P型半导体材料,有源区,N型半导体材料,缓冲层)平均热膨胀系数不同,负电极结构部件和正电极结构部件与两者连接通道中的半导体材料(P型半导体材料,有源区,N型半导体材料,缓冲层)不能沉积在应力调节部件的顶端,应力调节部件对有源区发出的光为透明的,应力调节部件为绝缘材料;
负电极结构部件;
负电极结构部件与正电极结构部件连接通道。
进一步的,正电极结构部件面积小于等于10000µm2。
更进一步的,LED衬底为导电衬底或不导电衬底,导电衬底为硅衬底或碳化硅衬底,不导电衬底为蓝宝石衬底或氧化镓衬底。
更进一步的,正电极结构部件至少包括P型金属电极,P型半导体材料,有源区,N型半导体材料,缓冲层。
更进一步的,当在100℃至1500℃范围内的温度时,应力调节部件的热膨胀系数与正电极结构部件中的半导体材料(P型半导体材料,有源区,N型半导体材料,缓冲层)平均热膨胀系数不同,应力调节部件对有源区发出的光为透明,光透过率大于等于70%。
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