[发明专利]一种显示面板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110249634.0 申请日: 2021-03-08
公开(公告)号: CN113053915A 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 柯霖波 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32;H01L21/84
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 赵伟
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 显示 面板 及其 制备 方法
【说明书】:

本申请公开了一种显示面板及其制备方法,包括:第一柔性层;第一阻隔层,设于所述第一柔性层上;以及第二柔性层,设于所述第一阻隔层上;其中,所述第一阻隔层所用的材料包括氧化硅和氮化硅,所述氧化硅和所述氮化硅的质量比为3x:7y,且x=1‑4,y=1‑4。本申请在两层柔性层之间设置阻隔层,可以提高两层柔性层之间的粘附力,实现所述柔性基板阻水阻氧能力、粘附力、弯折性能、高温高湿性能和光学透过率。

技术领域

本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种显示面板及其制备方法。

背景技术

随着现代显示技术的快速发展,显示技术领域正朝着更轻、更薄、更柔、更透明的方向发展。传统的玻璃基板由于自身硬和脆等特性,难以满足未来柔性显示技术的要求;而高分子薄膜基板具有质轻、柔性、综合性能优异等特点,可以很好地满足显示技术对柔性的要求。因此,柔性高分子基板材料是未来柔性显示技术的首选材料。

目前,聚酰亚胺(Polyimide,PI)为柔性基板最具发展前景的高分子材料。聚酰亚胺具有优异的耐热性、耐辐射性能、耐化学性、电绝缘性、机械性能等,但其自身的阻水阻氧能力较弱。通常柔性聚酰亚胺基板的阻水阻氧能力是采用多层聚酰亚胺/无机二氧化硅(Silicon Oxide,SiO2)交替堆叠的结构,但该结构粘附力明显不足,制备薄膜晶体管(ThinFilm Transistor,TFT)后,容易发生弯折时膜层脱落或高温高湿时膜层分离等问题。

发明内容

本发明的目的在于,本发明提供一种显示面板及其制备方法,以解决现有柔性基板阻水阻氧能力较弱,在弯折时膜层脱落或高温高湿时膜层分离的技术问题。

为实现上述目的,本发明提供一种显示面板,包括:第一柔性层;第一阻隔层,设于所述第一柔性层上;以及第二柔性层,设于所述第一阻隔层上;其中,所述第一阻隔层所用的材料包括氧化硅和氮化硅,所述氧化硅和所述氮化硅的质量比为3x:7y,且x=1-4,y=1-4。

进一步地,当x=3,y=1时,所述氧化硅和所述氮化硅的质量比为9:7。

进一步地,所述氧化硅为二氧化硅;所述氮化硅为四氮化三硅。

进一步地,所述的显示面板还包括:第二阻隔层,设于所述第二柔性层上。

进一步地,所述第二阻隔层所用的材料包括氧化硅和氮化硅,所述氧化硅和所述氮化硅的质量比为3x:7y,且x=1-4,y=1-4。

进一步地,所述第一柔性层的厚度为4000-12000nm;和/或所述第一阻隔层的厚度为100-600nm;和/或所述第二柔性层的厚度为4000-12000nm;和/或所述第二阻隔层的厚度为100-600nm。

进一步地,所述第一柔性层与所述第一阻隔层、所述第二柔性层、所述第二阻隔层的厚度之和为8200-25200nm。

为实现上述目的,本发明还提供一种显示面板的制备方法,包括如下步骤:形成一第一柔性层于一玻璃基板上;形成一第一阻隔层于所述第一柔性层上,其中所述第一阻隔层所用的材料包括氧化硅和氮化硅,所述氧化硅和所述氮化硅的质量比为3x:7y,且x=1-4,y=1-4。

进一步地,在所述形成一第二柔性层于所述第一阻隔层上的步骤之后还包括:形成一第二阻隔层于所述第二柔性层上。

进一步地,在所述形成一第二柔性层于所述第一阻隔层上的步骤之后还包括:采用机械剥离技术和/或激光剥离技术对所述玻璃基板和所述第一柔性层进行剥离处理。

本发明的技术效果在于,提供一种显示面板及其制备方法,所述显示面板包括两层柔性层和两层阻隔层,且所述柔性层与所述阻隔层间隔设置,既可以提高两层柔性层之间的粘附力,还可以提高所述柔性层与其他膜层的粘附力,实现所述柔性基板阻水阻氧能力、粘附力、弯折性能、高温高湿性能和光学透过率。

附图说明

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