[发明专利]一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法

权利要求书

1.一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，采用离子束在砷化镓电池表面刻蚀微纳米减反结构，其特征在于，具体步骤为：

(1)用酒精清洗电池表面并用吹风机吹干；

(2)将电池背面粘贴在基板上固定，再将粘好电池的基板放置于旋涂机中旋涂光刻胶薄膜；

(3)旋涂完光刻胶薄膜后，将基片放置于真空干燥箱中保温烘干；

(4)选取掩模版，采用光刻机将紫外光透过掩模版辐照在附有光刻胶的电池表面，对照射部分曝光；

(5)采用化学溶液腐蚀的方法溶解去除曝光区发生降解反应的光刻胶；

(6)离子束刻蚀设备发出定向高能离子束撞击带有太阳能电池的基板，刻蚀曝光区的电池表面，从而形成微结构。

2.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的电池为GaAs基单结异质太阳能电池，太阳能电池的结构包括正背面接触层、窗口层、发射区、基区、背散射场、缓冲区、衬底层。

3.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的旋涂机为EVG101旋涂机，EVG101旋涂机的运行参数为：旋涂时间为30s，加速度为1000rpm/s，速度为2000rpm。

4.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的真空干燥箱保温烘干，其温度为135℃，保温时间为15min。

5.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的掩模版为矩形，正方形或圆形；光刻机为Karisuss Ma6光刻机，所述Karisuss Ma6光刻机的激光为13nm的极端紫外光，所用的光刻机的曝光时间为5s。

6.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的化学溶液为浓度为2.38％的四甲基氢氧化铵溶液。

7.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的离子束刻蚀设备运行参数设置为离子束电流：150mA，离子束电压：400V，加速电压：400V，中性电流：150mA，射频功率300W；离子束是氩离子束。

8.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述微纳米减反结构的底面尺寸为1μm～10μm，深度为10nm～300nm。