[发明专利]一种显影液回收装置

说明书

本发明涉及废液回收技术领域，尤其涉及一种显影液回收装置，显影液回收装置包括回收存储单元、处理单元和回用单元；所述回收存储单元包括废液收集罐，所述废液收集罐用于收集废弃的显影液；所述处理单元用于对废弃的显影液进行处理，包括依次连通的反应沉淀装置和过滤装置，所述反应沉淀装置与所述废液收集罐连通，用于对废弃的显影液中的树脂进行沉积，所述过滤装置用于对废弃的显影液进行过滤；所述回用单元包括回收液存储罐和原液罐，所述回收液存储罐与所述过滤装置连通，所述回收液存储罐中设置有检测系统。本发明能够对显影液废液进行处理和回收，从而减少对环境的污染，降低成本，扩充企业产能。

技术领域

本发明涉及废液回收技术领域，尤其涉及一种显影液回收装置。

背景技术

目前，在制造半导体、液晶、印刷电路板等电子元部件时，显影液在制造过程中作为清洗剂、触刻剂被广泛使用。常用的显影液为四甲基氢氧化铵(以下简称TMAH)，TMAH具有强碱性，在不超过分解点的温度下稳定；当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣；对有机硅产品无污染。

在对由感光性树脂形成的印刷版进行制版时，曝光的感光性树脂在水溶性显影液(TMAH)的作用下显影，未曝光的感光性树脂则溶解于显影液中。重复使用同一种显影液来对感光性树脂进行曝光实现显影，会出现以下情况：显影性能降低、过多的树脂溶于显影液造成显影液粘度增加，依附在印刷版上，增加版面劣质化的风险，因此需要更换新的显影液来进行生产。但是从环境、制造成本两方面来考虑，频繁更换显影液会造成环境的污染和成本的增加。

因此，需要一种显影液回收装置来解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种显影液回收装置，能够对显影液废液进行处理和回收，从而减少对环境的污染，降低成本，扩充企业产能。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种显影液回收装置，包括回收存储单元、处理单元和回用单元；

所述回收存储单元包括废液收集罐，所述废液收集罐用于收集废弃的显影液；

所述处理单元用于对废弃的显影液进行处理，包括依次连通的反应沉淀装置和过滤装置，所述反应沉淀装置与所述废液收集罐连通，用于对废弃的显影液中的树脂进行沉积，所述过滤装置用于对废弃的显影液进行过滤；

所述回用单元包括回收液存储罐和原液罐，所述回收液存储罐与所述过滤装置连通，所述回收液存储罐中设置有检测系统，所述检测系统用于检测所述回收液存储罐中显影液的浓度，并控制所述原液罐中的原液补充到所述回收液存储罐中以满足使用需求。

进一步地，所述反应沉淀装置包括相互连通的反应罐和脱水间，所述反应罐与所述废液收集罐连通，所述反应罐用于对废弃的显影液进行沉淀，沉淀后的液体进入到所述过滤装置中，沉淀物进入所述脱水间。

进一步地，所述反应罐中设置有加药管和第一搅拌装置，所述加药管用于投放药品以加速沉淀，所述第一搅拌装置用于将所述药品与所述反应罐中的液体充分混合。

进一步地，所述脱水间中设置有压滤机，所述压滤机用于将所述沉淀物中的液体挤出，所述脱水间与所述反应罐之间设置有第一泵，所述第一泵用于将所述脱水间中的液体泵入到所述反应罐中。

进一步地，所述过滤装置包括依次连通的一级过滤装置和二级过滤装置，所述一级过滤装置与所述反应罐连通，用于对来自所述反应罐中的液体进行一级过滤，所述二级过滤装置用于对来自所述一级过滤装置中的液体进行二级过滤，所述二级过滤装置与所述回收液存储罐连通。

进一步地，所述一级过滤装置包括间隔设置的微米级过滤装置和超滤装置，所述微米级过滤装置与所述超滤装置之间设置有第二泵，所述第二泵的进水口与所述微米级过滤装置连通，所述第二泵的出水口与所述超滤装置连通。