[发明专利]一种显影液回收装置在审
申请号: | 202110247127.3 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN113009792A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 胡磊;魏攀龙;施利君;蒋新 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215555 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显影液 回收 装置 | ||
1.一种显影液回收装置,其特征在于,包括回收存储单元、处理单元和回用单元;
所述回收存储单元包括废液收集罐,所述废液收集罐用于收集废弃的显影液;
所述处理单元用于对废弃的显影液进行处理,包括依次连通的反应沉淀装置(1)和过滤装置,所述反应沉淀装置(1)与所述废液收集罐连通,用于对废弃的显影液中的树脂进行沉积,所述过滤装置用于对废弃的显影液进行过滤;
所述回用单元包括回收液存储罐(4)和原液罐(5),所述回收液存储罐(4)与所述过滤装置连通,所述回收液存储罐(4)中设置有检测系统,所述检测系统用于检测所述回收液存储罐(4)中显影液的浓度,并控制所述原液罐(5)中的原液补充到所述回收液存储罐(4)中以满足使用需求。
2.根据权利要求1所述的一种显影液回收装置,其特征在于,所述反应沉淀装置(1)包括相互连通的反应罐(11)和脱水间(12),所述反应罐(11)与所述废液收集罐连通,所述反应罐(11)用于对废弃的显影液进行沉淀,沉淀后的液体进入到所述过滤装置中,沉淀物进入所述脱水间(12)。
3.根据权利要求2所述的一种显影液回收装置,其特征在于,所述反应罐(11)中设置有加药管和第一搅拌装置,所述加药管用于投放药品以加速沉淀,所述第一搅拌装置用于将所述药品与所述反应罐(11)中的液体充分混合。
4.根据权利要求2所述的一种显影液回收装置,其特征在于,所述脱水间(12)中设置有压滤机,所述压滤机用于将所述沉淀物中的液体挤出,所述脱水间(12)与所述反应罐(11)之间设置有第一泵(13),所述第一泵(13)用于将所述脱水间(12)中的液体泵入到所述反应罐(11)中。
5.根据权利要求2所述的一种显影液回收装置,其特征在于,所述过滤装置包括依次连通的一级过滤装置(2)和二级过滤装置(3),所述一级过滤装置(2)与所述反应罐(11)连通,用于对来自所述反应罐(11)中的液体进行一级过滤,所述二级过滤装置(3)用于对来自所述一级过滤装置(2)中的液体进行二级过滤,所述二级过滤装置(3)与所述回收液存储罐(4)连通。
6.根据权利要求5所述的一种显影液回收装置,其特征在于,所述一级过滤装置(2)包括间隔设置的微米级过滤装置(21)和超滤装置(22),所述微米级过滤装置(21)与所述超滤装置(22)之间设置有第二泵(23),所述第二泵(23)的进水口与所述微米级过滤装置(21)连通,所述第二泵(23)的出水口与所述超滤装置(22)连通。
7.根据权利要求6所述的一种显影液回收装置,其特征在于,所述超滤装置(22)与所述微米级过滤装置(21)连通,所述超滤装置(22)中的浓液能够进入所述微米级过滤装置(21)中。
8.根据权利要求6所述的一种显影液回收装置,其特征在于,所述二级过滤装置(3)中设置有纳滤膜,所述纳滤膜将所述二级过滤装置(3)分割为二级进液腔和二级出液腔,所述二级过滤装置(3)上设置有第三泵(31),所述第三泵(31)的进水口与所述超滤装置(22)连通,所述第三泵(31)的出水口与所述二级过滤装置(3)连通。
9.根据权利要求8所述的一种显影液回收装置,其特征在于,还包括浓液回收装置(6),所述浓液回收装置(6)与所述一级过滤装置(2)和所述二级过滤装置(3)均连通,用于收集所述一级过滤装置(2)和所述二级过滤装置(3)中产生的浓液。
10.根据权利要求8所述的一种显影液回收装置,其特征在于,还包括反冲洗装置(7),所述反冲洗装置(7)的进水口与所述回收液存储罐(4)连通,所述反冲洗装置(7)的出水口与所述一级过滤装置(2)和所述二级过滤装置(3)均经泵连通,所述反冲洗装置(7)能够对所述微米级过滤装置(21)、所述超滤装置(22)和所述二级过滤装置(3)进行冲洗。
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