[发明专利]气体感测材料与气体传感器

说明书

本发明提供一种气体感测材料与气体传感器。所述气体感测材料包括n型MoO_x基体与多个p型MoN_yO_z突起物，p型MoN_yO_z突起物分布在所述n型MoO_x基体的表面，其中0x3、0.01y2且0.01z2。所述气体传感器则包括第一电极、第二电极以及介于第一与第二电极之间的至少一感测结构。所述感测结构是由多个所述的气体感测材料组成。

技术领域

本发明是有关于一种气体感测技术，且特别是有关于一种气体感测材料与气体传感器。

背景技术

由于近几年科技与技术的精进，使得智能装置普及化，而科技化后的产品则越来越趋向于三大方向，智能化、自动化以及云端化；小如一台基本的智能手机，内部却已经有诸多的传感器整合其中，大至一辆电动车，可将传感器的效能发挥至极致，带给人们的是全自动化驾驶的体验。

各种类型的传感器已经被应用在不同的领域中，以半导体吸附式气体传感器为例，是利用金属化合物表面吸附气体含量多寡时产生的电性变化，来监测气体的浓度变化。

然而，这类的气体传感器常见的缺点是对气体的灵敏度(Sensitivity)、选择性(Selectivity)及稳定性(Stability)不佳。现有气体传感器在常温下的对气体的灵敏度不佳，因此需要另外设置加热器，但因气体传感器若长期处于高温将容易发生故障失效，因此，气体传感器需进一步改良，使其不需另外设置加热器，也能具有对气体良好的灵敏度、选择性及稳定性。

发明内容

本发明提供一种气体感测材料(gas sensing material)，能有效提升导电性并且改善感测的反应速度与回复时间(response time)。

本发明另提供一种气体传感器(gas sensor)，具有上述气体感测材料，因此具有灵敏度高、反应速度快与回复时间短的效果。

本发明的气体感测材料包括n型MoO_x基体与多个p型MoN_yO_z突起物，所述多个p型MoN_yO_z突起物分布在所述n型MoO_x基体的表面，其中0x3、0.01y2且0.01z2。

在本发明的一实施例中，上述气体感测材料可为线型(wire)结构、棒状(rod)结构和一维结构中的一种。

在本发明的一实施例中，上述气体感测材料的载体长度在1μm～50μm。

在本发明的一实施例中，上述多个p型MoN_yO_z突起物均匀分布在上述n型MoO_x基体的整个表面。

在本发明的一实施例中，上述多个p型MoN_yO_z突起物在所述n型MoO_x基体的表面上的分布密度是20个/μm²～200个/μm²。

在本发明的一实施例中，上述多个p型MoN_yO_z突起物在所述n型MoO_x基体的表面上的平均粒径是1nm～10nm。

本发明的气体传感器包括第一电极、与所述第一电极相隔一距离的第二电极以及至少一感测结构。所述感测结构是由多个上述气体感测材料所组成。所述感测结构介于第一电极与第二电极之间，并与第一电极与第二电极直接接触。

在本发明的另一实施例中，上述第一电极与上述第二电极之间的距离例如在1μm～1000μm之间。

在本发明的另一实施例中，上述第一电极与上述第二电极包括指叉状电极。