[发明专利]气体感测材料与气体传感器在审
申请号: | 202110243720.0 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN113495089A | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
发明(设计)人: | 黄柏恺;蔡明志;简志轩 | 申请(专利权)人: | 新唐科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;G01N27/22 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王涛;任默闻 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 材料 传感器 | ||
1.一种气体感测材料,其特征在于,包括:
一n型MoOx基体,0x3;以及
多个p型MoNyOz突起物,分布在所述n型MoOx基体的表面,其中0.01y2且0.01z2。
2.根据权利要求1所述的气体感测材料,其特征在于,所述气体感测材料为线型结构、棒状结构和一维结构中的一种。
3.根据权利要求1所述的气体感测材料,其特征在于,所述气体感测材料的载体长度在1μm~50μm之间。
4.根据权利要求1所述的气体感测材料,其特征在于,所述多个p型MoNyOz突起物均匀分布在所述n型MoOx基体的整个所述表面。
5.根据权利要求1所述的气体感测材料,其特征在于,所述多个p型MoNyOz突起物在所述n型MoOx基体的表面上的分布密度是2个/μm2~200个/μm2。
6.根据权利要求1所述的气体感测材料,其特征在于,所述多个p型MoNyOz突起物在所述n型MoOx基体的表面上的平均粒径是1nm~10nm。
7.一种气体传感器,其特征在于,包括:
第一电极;
第二电极,与所述第一电极相隔一距离;以及
至少一感测结构,介于所述第一电极与所述第二电极之间,并与所述第一电极与所述第二电极直接接触,其中所述感测结构是由多个如权利要求1至6中任一项所述的气体感测材料组成。
8.根据权利要求7所述的气体传感器,其特征在于,所述第一电极与所述第二电极之间的所述距离在1μm~1000μm之间。
9.根据权利要求7所述的气体传感器,其特征在于,所述第一电极与所述第二电极包括指叉状电极。
10.根据权利要求7所述的气体传感器,其特征在于,所述气体传感器包括电阻式传感器或电容式传感器。
11.根据权利要求7所述的气体传感器,其特征在于,所述气体传感器的操作温度为室温。
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