[发明专利]一种湿度可调的动态气体稀释仪和含湿标气配置方法

权利要求书

1.一种湿度可调的动态气体稀释仪，其特征在于：包括稀释气入口(1)、标气入口(2)、稀释气出口(3)、废气出口(4)、进气三通电磁阀(5)、出气三通电磁阀(6)、抽气泵(7)、干燥稀释气流量控制器(8)、加水稀释气流量控制器(9)、加湿器(10)、除烃器(11)、标气流量控制器(12)、气体混合器(13)、信号采集控制和电源模块(14)、显示控制终端(15)和湿度测量模块(16)；

所述的稀释气入口(1)通过管路依次与进气三通电磁阀(5)和出气三通电磁阀(6)相连，进气三通电磁阀(5)和出气三通电磁阀(6)的旁路与抽气泵(7)相连；出气三通电磁阀(6)出口通过三通分别与干燥稀释气流量控制器(8)、加水稀释气流量控制器(9)相连，其中加水稀释气流量控制器(9)出口与加湿器(10)相连；所述的除烃器(11)入口与干燥稀释气流量控制器(8)出口、加湿器(10)的出口通过三通相连；

所述的标气入口(2)与标气流量控制器(12)入口通过气路相连；

所述的标气流量控制器(12)出口、除烃器(11)出口与气体混合器(13)入口，通过三通气路相连；

所述的气体混合器(13)出口经过湿度测量模块(16)，与稀释气出口(3)、废气出口(4)相连；

所述的进气三通电磁阀(5)和出气三通电磁阀(6)、抽气泵(7)、干燥稀释气流量控制器(8)、加水稀释气流量控制器(9)、加湿器(10)、除烃器(11)、标气流量控制器(12)、湿度测量模块(16)、信号采集控制和电源模块(14)和显示控制终端(15)，通过信号线和电源线连接。

2.根据权利要求1所述的一种湿度可调的动态气体稀释仪，其特征在于：所述的除烃器(11)是去除挥发性有机物的吸附装置、热催化装置或光催化装置。

3.根据权利要求1所述的一种湿度可调的动态气体稀释仪，其特征在于：所述的加湿器(10)是雾化喷淋法加湿器、水洗法加湿器或水气化法加湿器。

4.根据权利要求1所述的一种湿度可调的动态气体稀释仪，其特征在于：所述的稀释气入口(1)通入的是除烃气体或环境空气。

5.一种湿度可调的动态气体稀释仪的含湿标气配置方法，其特征在于，包括如下步骤：

当稀释气入口(1)通入的是正压钢瓶气体时，通过进气三通电磁阀(5)和出气三通电磁阀(6)将钢瓶气体直接引入；当稀释气入口(1)通入的是非正压气体时，通过显示控制终端(15)和信号采集控制和电源模块(14)向进气三通电磁阀(5)和出气三通电磁阀(6)发送切换信号，并向抽气泵(7)发送启动信号，则稀释气入口(1)的气体在抽气泵(7)的作用下引入；正压钢瓶气或者抽气泵(7)引入的气体，经过三通分为两路，一路分向干燥气流量控制器(8)，另一路分向加水流量控制器(9)和加湿器(10)，在加湿器(10)中被加湿；从干燥气流量控制器(8)流出的干燥稀释气与加湿器(10)流出的含湿稀释气按流量比混合，之后经过除烃器(11)去除其中的有机物；标气通过标气入口(2)，按照标气流量控制器(12)设定流量进入，与除烃器(11)出口稀释气汇合，进入气体混合器(13)后混合均匀；湿度测量模块(16)在气体混合器(13)出口对混合气体的湿度进行测量，并将测量值反馈给信号采集控制和电源模块(14)以及显示控制终端(15)，信号采集控制和电源模块(14)通过控制干燥气流量控制器(8)和加水流量控制器(9)对干燥气体和加湿气体比例进行调节，通过实时循环反馈，最终将混合气体湿度控制到目标含湿标气；含湿标气通过稀释气出口(3)和废气出口(4)引出目标湿度的混合气体。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述的非正压气体是环境空气。