[发明专利]一种XY宏微运动平台及其末端反馈方法

说明书

一种XY宏微运动平台及其末端反馈方法，XY宏微运动平台包括：微调组件、宏驱动组件和位置检测装置；宏驱动组件包括：X向宏驱动单元、Y向宏驱动单元、X向平板和Y向平板；位置检测装置用于获取自身在X轴和Y轴的所在位置。本XY宏微运动平台，采用XY宏微解耦方式，每个轴向上的宏运动部件与微运动部件间设置解耦布置，并在此基础上在X向运动与Y向运动之间进行解耦布置，以使整个系统在XY轴向形成共水平面，以及和宏微之间形成解耦设置，结构上各轴运动互不耦合，无需复杂的坐标变换即可获得所在轴上准确位置；同时，XY宏微运动平台在同一水平面上的运动，降低切向干扰与影响，保障其运动的精密度。

技术领域

本发明涉及传送装置技术领域，尤其涉及一种XY宏微运动平台及其末端反馈方法。

背景技术

目前，现有的宏微加工设备由多级结构设计与组合而成，对于二维XY宏微运动，由于当前驱动部件、传感器件的安装要求，在XY宏微结构上存在多级串联所造成误差累积的影响，对操作末端的定位精度具有很大的影响；同时，由于XY宏微驱动部件、传感器件在结构上存在交叉排布的耦合问题，当前结构布置，无法实现操作末端的全行程全闭环精密反馈，难以获取末端实际位置的信息，不利于控制方法的实施，影响操作精度。

发明内容

本发明的目的在于提出一种XY宏微运动平台，其通过微动单元承载台搭载于通过移动库连接的X向微动单元和Y向微动单元，形成微调组件，再通过将微调组件搭载于具有粗定位的宏驱动组件，平台整体在X向运动与Y向运动之间进行解耦布置。

本发明还提出一种XY宏微运动平台的末端反馈方法，使用了上述的XY宏微运动平台通过在X向运动与Y向运动之间进行解耦布置定位。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种XY宏微运动平台，包括：微调组件、宏驱动组件和位置检测装置；

所述微调组件包括：X向微动单元、Y向微动单元和微动单元承载台；

所述X向微动单元和所述Y向微动单元具有驱动活动功能；所述X向微动单元的输出端具有载物功能，并连接有所述位置检测装置，用于驱动承载物和所述位置检测装置在X轴方向移动；所述Y向微动单元的输出端连接所述X向微动单元，用于驱动所述X向微动单元沿Y轴方向移动；

所述宏驱动组件包括：X向宏驱动单元、Y向宏驱动单元、X向平板和Y向平板；

所述X向宏驱动单元分别安装于所述X向平板的两端，用于驱动所述X向平板沿Y轴方向活动；所述X向平板于两端所述X向宏驱动单元之间可活动地连接所述微动单元承载台，所述X向平板与所述微动单元承载台之间形成沿X轴方向延伸的移动副；

所述Y向宏驱动单元分别安装于所述Y向平板的两端，用于驱动所述Y向平板沿X轴方向活动；所述Y向平板于两端所述Y向宏驱动单元之间可活动地连接所述微动单元承载台，所述Y向平板与所述微动单元承载台之间形成沿Y轴方向延伸的移动副；

所述位置检测装置用于获取自身在X轴和Y轴的所在位置。

优选地，所述X向微动单元包括：具有移动功能的X向微动块；

所述Y向微动单元包括：具有移动功能的Y向微动块；

所述X向微动块连接有所述位置检测装置，所述X向微动块设有X向限位头；所述Y向微动块设有第一微动限位槽，所述微动单元承载台设有第二微动限位槽，所述X向限位头伸入并可活动于所述第一微动限位槽和所述第二微动限位槽内；

所述X向微动块与所述Y向微动块可活动连接，两者之间形成沿X轴方向延伸的移动副；

所述Y向微动块与所述微动单元承载台可活动连接，两者之间形成沿Y轴方向延伸的移动副。

优选地，所述位置检测装置包括：检测接收装置和检测发器装置；