[发明专利]一种XY宏微运动平台及其末端反馈方法

权利要求书

1.一种XY宏微运动平台，其特征在于，包括：微调组件、宏驱动组件和位置检测装置；

所述微调组件包括：X向微动单元、Y向微动单元和微动单元承载台；

所述X向微动单元和所述Y向微动单元具有驱动活动功能；所述X向微动单元的输出端具有载物功能，并连接有所述位置检测装置，用于驱动承载物和所述位置检测装置在X轴方向移动；所述Y向微动单元的输出端连接所述X向微动单元，用于驱动所述X向微动单元沿Y轴方向移动；

所述宏驱动组件包括：X向宏驱动单元、Y向宏驱动单元、X向平板和Y向平板；

所述X向宏驱动单元分别安装于所述X向平板的两端，用于驱动所述X向平板沿Y轴方向活动；所述X向平板于两端所述X向宏驱动单元之间可活动地连接所述微动单元承载台，所述X向平板与所述微动单元承载台之间形成沿X轴方向延伸的移动副；

所述Y向宏驱动单元分别安装于所述Y向平板的两端，用于驱动所述Y向平板沿X轴方向活动；所述Y向平板于两端所述Y向宏驱动单元之间可活动地连接所述微动单元承载台，所述Y向平板与所述微动单元承载台之间形成沿Y轴方向延伸的移动副；

所述位置检测装置用于全行程实时在线闭环获取自身在所述X向宏驱动单元、所述X向微动单元、所述Y向宏驱动单元和所述Y向微动单元共同驱动下的X、Y轴二维位置信息；

所述X向微动单元包括：具有移动功能的X向微动块；

所述Y向微动单元包括：具有移动功能的Y向微动块；

所述X向微动块连接有所述位置检测装置，所述X向微动块设有X向限位头；所述Y向微动块设有第一微动限位槽，所述微动单元承载台设有第二微动限位槽，所述X向限位头伸入并可活动于所述第一微动限位槽和所述第二微动限位槽内；

所述X向微动块与所述Y向微动块可活动连接，两者之间形成沿X轴方向延伸的移动副；所述Y向微动块与所述微动单元承载台可活动连接，两者之间形成沿Y轴方向延伸的移动副；

所述位置检测装置包括：检测接收装置和检测发器装置；

所述检测接收装置安装于所述X向微动块；所述检测接收装置活动于所述检测发器装置的表面以内和/或以外；所述检测接收装置活动于所述检测发器装置的表面时，所述检测接收装置获取自身在所述检测发器装置的X轴和Y轴的所在位置；

所述X向微动块于所述X向限位头的上端设有承载功能的顶部限位端；所述检测接收装置安装于所述X向限位头的下端。

2.根据权利要求1所述的XY宏微运动平台，其特征在于，所述顶部限位端的底部抵靠于所述Y向微动块的上表面；所述Y向微动块的底部抵靠于所述微动单元承载台的上表面。

3.根据权利要求1所述的XY宏微运动平台，其特征在于，所述检测接收装置和检测发器装置相向接触，且两者通过相向设置的平面接触。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的XY宏微运动平台，其特征在于，还包括：工控机；

所述工控机与所述位置检测装置通讯连接；所述工控机用于控制所述X向微动单元、Y向微动单元、X向宏驱动单元和Y向宏驱动单元。

5.根据权利要求1-4任意一项所述XY宏微运动平台的末端反馈方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：由工控机分别对X向宏驱动单元和Y向宏驱动单元进行控制，实现X向微动单元的X向和Y向的宏动粗定位；

步骤2：根据位置检测装置获取的精密位置信息反馈至工控机，当目标位置A’与实际位置A之差的绝对值在精度内，由工控机分别对X向微动单元和Y向微动单元进行X向和Y向的微动精定位，直至实际位置目标位置A’与实际位置A之差的绝对值在精度内。