[发明专利]一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法

说明书

本申请公开一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法，其中所述晶圆MAP图的转换方法包括(S1)采集与待检测晶圆有关的格式文件中的数据，其中与待检测晶圆有关的格式文件中的数据被定义为待测晶圆数据，记载所述待测晶圆数据的文件格式被定位为待测数据格式；(S2)匹配所述待测数据格式的所述待测晶圆数据于一标准MAP格式，以确定与所述标准数据相对应的相对的所述待测晶圆数据在所述待测数据格式的相关参数，并确定是否需要转换，所述标准MAP格式所记载的数据为晶圆检测设备能够直接读取的标准数据；(S3)转录所述待测晶圆数据于所述标准MAP格式中所述标准数据；(S4)输出所述标准数据。

技术领域

本发明涉及一种晶圆测试系统领域，尤其涉及一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法。

背景技术

目前集成电路制造工艺日新月异，晶圆直径达到300mm，管芯的线条达 60nm甚至更微细且芯片面积更小。一枚晶圆上可以制作万个以上管芯；对管芯的测试由测试系统和探针台(Prober)通过及时紧密的配合共同完成。

通过晶圆测试对所有管芯的性能进行测试分析，以检测出失效的管芯和合格的管芯、或需要修复的管芯。为了满足先进的工艺和自动化的要求，现在除了用墨点来区分管芯的好与坏，最为重要的是反映晶圆状况的MAP图，该MAP图是探针台在测试过程中自动生成的。

TEL系列的探针台是日本东京电子(Tokyo Electron Ltd)公司制造的，推向市场较早，该系列探针台在全球的工艺线上拥有量较多，也是行业内最大设备供应商之一。TSK系列(适应直径200mm晶圆测试)探针台是日本东京精密(TSK) 公司制造的，TSK探针台具有运行速度快、时间短，精度高，操作灵活等优点，该公司近几年技术发展快，产品市场份额不断提高，逐渐成为业内最主流的探针台。因此，TEL探针台和TSK探针台是目前装机量最大的两类探针台。

但是，现有的两种探针台在对晶圆进行测试时，都需要使其能够读取MAP 图。而晶圆制作厂商提供的待检测的晶圆的参数文件通常是TXT、XML格式以及CSV等其他格式的文件。而这这些格式的文件，探针台无法直接读取。

此外，不同类型的探针台所能够识别的晶圆数据的格式文件也不同，这样就给限制了探针台的适用领域。

现有技术的做法是对照客户的文件，在测试机台上对待检测的晶圆一个个测试点进行手动标记。而一般晶圆的测试点都超过两万颗，通过手动标记的方式不仅效率低下，而且人工标记很容易出错，进而影响晶圆测试的结果。

此外，TXT格式文件和XML格式文件通常是由待检测的晶圆制作厂商提供的，TXT或XML格式的文件中不仅包含和MAP图一样探针台检测晶圆所需的参数信息，还包括诸多探针台检测晶圆时所不需要的参数信息，而这些参数信息是冗余信息。这些冗余信息如果还是需要被探针台读取，则势必会降低机台的检测效率。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法，其中所述晶圆MAP图的转换系统能够将含有待测晶圆数据的不同格式的文件转换成现有探针台能够直接识别的MAP图，从而避免人工标记出错。

本发明的另一个目的在于提供一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法，其中所述晶圆MAP图的转换系统能够消除含有待测晶圆数据的不同格式的文件的冗余信息，从而提高所述探针台的检测效率。

本发明的另一个目的在于提供一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法，其中所述晶圆MAP图的转换系统能够增强所述探针台的适用性，从而能够为提供各种不同格式晶圆数据的晶圆厂商进行晶圆检测。

本发明的另一个目的在于提供一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法，其中所述晶圆MAP图的转换系统能够将被一种型号的探针台所能够识别的含有待测晶圆数据的不同格式的文件转换成另一种型号的探针台所能够识别的数据文件，进而能够扩大所述晶圆MAP图的转换系统适用范围。