[发明专利]一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法

权利要求书

1.一种晶圆MAP图的转换系统，其特征在于，所述晶圆MAP图的转换系统包括：

一待测晶圆采集单元，其中所述待测晶圆采集单元被设置能够接收经由获取而采集的与待检测晶圆有关的格式文件中的数据，其中与待检测晶圆有关的格式文件中的数据被定义为待测晶圆数据，记载所述待测晶圆数据的文件格式被定位为待测数据格式；

一处理单元，其中所述处理单元包括一分析模块和一转换模块，其中所述分析模块被设置可通信地连接于所述待检测晶圆采集单元，所述处理单元的所述分析模块被设置能够接收所述待测晶圆数据和所述待测数据格式，所述分析模块中设置一标准MAP格式，所述标准MAP格式所记载的数据为晶圆检测设备能够直接读取的数据，即定义为标准数据，所述分析模块被设置能够匹配所述待测数据格式的所述待测晶圆数据于所述标准MAP格式，以确定与所述标准数据相对应的相对的所述待测晶圆数据在所述待测数据格式的相关参数，并确定是否需要转换，其中所述转换模块转录所述待测晶圆数据为所述标准数据；和

一输出单元，其中所述输出单元被可通信地连接与所述转换模块，以输出转换后标准MAP格式中的所述标准数据。

2.根据权利要求1所述晶圆MAP图的转换系统，其特征在于，所述分析模块确定的所述待测晶圆数据在所述待测数据格式的相关参数包括所述待测晶圆的wafer Id号、对应wafer Id号下的晶粒坐标值。

3.根据权利要求2所述晶圆MAP图的转换系统，其特征在于，所述处理单元包括一赋值模块，其中所述赋值模块被可通信地连接于所述分析模块和所述输出单元，所述赋值模块被设置根据所述分析模块分析的结果，自动地将所述待测晶圆数据中表示需要检测的晶圆坐标和不需要检测的晶圆坐标赋不同的值。

4.根据权利要求3所述晶圆MAP图的转换系统，其特征在于，所述转换模块通过byte型转换将所述待测晶圆数据转换为所述标准MAP格式文件所对应的所述标准数据。

5.根据权利要求1或2所述晶圆MAP图的转换系统，其特征在于，所述待检测晶圆的文件格式被实施为选自XML、TXT文件、STDF文件或CSV文件。

6.根据权利要求1或2所述晶圆MAP图的转换系统，其特征在于，所述标准MAP格式即为所述TEL系列的探针台或TSK系列的探针台能够直接读取的格式。

7.一种晶圆MAP图的转换方法，其特征在于，所述晶圆MAP图的转换方法包括以下步骤：

(S1)采集与待检测晶圆有关的格式文件中的数据，其中与待检测晶圆有关的格式文件中的数据被定义为待测晶圆数据，记载所述待测晶圆数据的文件格式被定位为待测数据格式；

(S2)匹配所述待测数据格式的所述待测晶圆数据于一标准MAP格式，以确定与所述标准数据相对应的相对的所述待测晶圆数据在所述待测数据格式的相关参数，并确定是否需要转换，所述标准MAP格式所记载的数据为晶圆检测设备能够直接读取的标准数据；

(S3)转录所述待测晶圆数据于所述标准MAP格式中所述标准数据；和

(S4)输出所述标准数据。

8.根据权利要求7所述晶圆MAP图的转换方法，其特征在于，所述分析模块确定的所述待测晶圆数据在所述待测数据格式的相关参数包括所述待测晶圆的wafer Id号、对应wafer Id号下的晶粒坐标值。

9.根据权利要求7或8所述晶圆MAP图的转换方法，其特征在于，所述待检测晶圆的文件格式被实施为选自XML、TXT文件、STDF文件或CSV文件。