[发明专利]一种薄膜晶体管、显示面板以及显示装置在审
| 申请号： | 202110231946.9 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN115000176A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 陈晓妮;晏国文;陈明;黄德猛 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/417;H01L21/34;H01L21/44;H01L27/32;G02F1/1362 |
| 代理公司： | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人： | 许铨芬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 显示 面板 以及 显示装置 | ||
1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：
基板；
半导体层，叠置于所述基板；
第一导电层，叠置于所述半导体层；
第二导电层，叠置于所述半导体层，所述第二导电层与第一导电层之间具有间隙，以使所述第一导电层和第二导电层绝缘；
绝缘层，叠置于所述半导体层；
栅极，叠置于所述绝缘层；
漏极，与所述第一导电层电连接；
源极，与所述第二导电层电连接。
2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述第一导电层和第二导电层的材料均为导电金属。
3.根据权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述绝缘层位于所述间隙。
4.根据权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，还包括屏蔽层，所述屏蔽层叠置于所述基板，所述半导体层叠置于所述屏蔽层。
5.根据权利要求4所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述半导体层叠置与所述屏蔽层的中部，所述屏蔽层的两侧区域裸露，裸露的所述屏蔽层的两侧区域为可挠区域。
6.根据权利要求5所述的薄膜晶体管，其特征在于，还包括层间绝缘层，所述层间绝缘层叠置于所述可挠区域、第一导电层、第二导电层和栅极。
7.根据权利要求6所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述层间绝缘层设置第一通孔和第二通孔，所述漏极和源极均叠置于所述层间绝缘层，所述漏极穿过所述第一通孔后与所述第一导电层电连接，所述源极穿过所述第二通孔后与所述第二导电层电连接。
8.根据权利要求7所述的薄膜晶体管，其特征在于，还包括钝化层和平坦化层；
所述钝化层和平坦化层依次叠置于所述层间绝缘层、漏极和源极；
所述平坦化层远离所述基板的一表面与所述基板远离所述平坦化层的一表面平行。
9.一种显示面板，其特征在于，包括
如权利要求1-8中任意一项所述的薄膜晶体管；
阳极，与所述薄膜晶体管的漏极电连接；
像素定义层，叠置于所述阳极，所述像素定义层设置像素口，以使所述阳极于所述像素口处裸露；
支撑层，叠置于所述像素定义层。
10.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求9所述的显示面板。
11.一种制作如权利权利要求1-8中任意一项所述的薄膜晶体管的方法，其特征在于，包括：
在基板上依次形成半导体层、绝缘层和栅极；
对所述栅极和绝缘层进行图案化处理，以使所述半导体层部分裸露；
在所述半导体层裸露的区域分别形成第一导电层和第二导电层，所述第一导电层和第二导电层通过所述绝缘层绝缘；
设置漏极和源极，其中，所述漏极与所述第一导电层电连接，所述源极与所述第二导电层电连接。
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