[发明专利]成像质量分析装置、以及成像质量分析方法

权利要求书

1.一种成像质量分析装置，其特征在于，具备：

测量部，对设定在目标试样上的测量区域内的多个微小区域分别执行质量分析；

降维处理部，对由所述测量部得到的每个微小区域的质量分析数据进行利用了流形学习的非线性降维法的处理，得到将与质荷比值的数量相当的维度降维为三维的每个微小区域的数据；

显示颜色确定部，通过在以所述三维的各维度为轴并将三原色分别分配至各轴的三维空间中配置与在所述降维处理部中的降维后的每个微小区域的数据相对应的点，分别确定该多个点的颜色；

分割图像生成部，通过将具有赋予所述三维空间内的各点的颜色的像素与该各点所对应的微小区域的所述测量区域内的位置相对应地配置在二维上，生成与该测量区域或其中的一部分的区域相对应的分割图像。

2.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，所述非线性降维法是基于UMAP即一致的流形逼近与投影以进行降维的方法。

3.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，进一步具备：

三维图像显示处理部，生成将具有由所述显示颜色确定部确定的颜色的各点配置于三维空间内的三维分布图像，并将该三维分布图像显示在显示部；

点选择操作部，由用户在显示的所述三维分布图像上进行一个或多个点的选择；

二维图像显示处理部，生成明确示出被推测为与由所述点选择操作部选择的一个或多个点相对应的微小区域占据的区域或者以该微小区域为中心的集合的区域的二维图像，并将该二维图像显示在显示部。

4.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，进一步具备分割图像显示处理部，将基于通过所述测量部对多个试样分别得到的数据而生成的多个分割图像显示在显示部的同一画面上。

5.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，进一步具备统计解析处理部，对基于通过所述测量部对多个试样分别得到的数据而生成的多个分割图像，对于从该多个分割图像中分别得到的信息进行规定的统计解析。

6.一种成像质量分析方法，其特征在于，具有：

测量步骤，对设定在目标试样上的测量区域内的多个微小区域分别执行质量分析；

降维处理步骤，对在所述测量步骤中得到的每个微小区域的质量分析数据进行利用了流形学习的非线性降维法的处理，得到将与质荷比值的数量相当的维度降维为三维的每个微小区域的数据；

显示颜色确定步骤，通过在以所述三维的各维度作为轴并将三原色分别分配至各轴的三维空间中配置与在所述降维处理步骤中降维后的每个微小区域的数据对应的点，分别确定该多个点的颜色；

分割图像生成步骤，通过将具有赋予所述三维空间内的各点的颜色的像素与该各点所对应的微小区域的所述测量区域内的位置相对应地配置在二维上，生成与该测量区域或其中的一部分的区域相对应的分割图像。

7.如权利要求6所述的成像质量分析方法，其特征在于，所述非线性降维法是基于UMAP即一致的流形逼近与投影以进行降维的方法。

8.如权利要求6所述的成像质量分析方法，其特征在于，进一步具有：

三维图像显示步骤，生成将具有在所述显示颜色确定步骤中确定的颜色的各点配置于三维空间内的三维分布图像，并将该三维分布图像显示在显示部；

点选择操作步骤，由用户在显示的所述三维分布图像上进行一个或多个点的选择；

二维图像显示步骤，生成明确示出被推测为与在所述点选择操作步骤中选择的一个或多个点相对应的微小区域占据的区域或者以该微小区域为中心的集合的区域的二维图像，并将该二维图像显示在显示部。

9.如权利要求6所述的成像质量分析方法，其特征在于，进一步具有分割图像显示步骤，将基于通过所述测量步骤对多个试样分别得到的数据而生成的多个分割图像显示在显示部的同一画面上。

10.如权利要求6所述的成像质量分析方法，其特征在于，进一步具有统计解析步骤，对基于通过所述测量步骤对多个试样分别得到的数据而生成的多个分割图像，对于从该多个分割图像中分别得到的信息进行规定的统计解析。