[发明专利]一种半导体膜状扩散源原料防凝装置

说明书

本发明公开了一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，属于生产成型设备技术领域，包括机架、偏心轮，在所述偏心轮上部设有对称的挡板，在所述挡板侧面上下分别设有上支撑杆、下支撑杆，在所述上支撑杆、下支撑杆端部分别设有张力弹簧、限位块，套筒组件套接在上支撑杆、下支撑杆上的张力弹簧、限位块的中间位置，在所述套筒组件侧面设有轴承座，料桶两端分别置于轴承座上。旋转电机输出端连接转轴，转轴带动偏心轮转动，一方面，料桶两端分别置于轴承座上，能够在轴承座内自转，另一方面，偏心轮转动，在离心力的作用下，料桶两端连接的套筒组件在上支撑杆、下支撑杆滑动，挤压或拉伸张力弹簧，形成摆动，通过摆动和自转防止料桶浆料凝结。

技术领域

本发明属于生产成型设备技术领域，具体是一种半导体膜状扩散源原料防凝装置。

背景技术

半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。半导体膜状扩散源在行业内也俗称纸源。

但是这种膜状扩散源的生产较为困难，在成膜前，混合物料都是乳状物，配合好的物料在存储过程中容易凝结固化。现有技术中，大部分防凝均采用搅拌的方式，如专利申请号为CN201811588885.6的中国专利申请，公开了一种用于水泥抗裂砂浆防凝结的存储装置结构，但是持续的搅拌，会产生大量的热量，使得浆料的温度升高，影响浆料的特性，使得半导体膜状扩散源成膜困难。

发明内容

为了克服现有技术中混合物料在存储过程中容易凝结固化的缺陷，本发明提供一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，从而防止浆料凝结。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，包括机架、偏心轮，在所述机架上设有旋转电机，所述旋转电机输出端连接转轴，偏心轮固定设置在转轴上，在所述偏心轮上部设有两个对称的挡板，在所述两个对称的挡板的相对侧顶部和底部分别设有上支撑杆、下支撑杆，在所述上支撑杆、下支撑杆端部分别设有张力弹簧、限位块，上支撑杆、下支撑杆上位于张力弹簧、限位块，的一段外侧套装有套筒组件，两个对称的挡板上的上支撑杆、下支撑杆之间分别固连有轴承座，两个轴承座转动连接有料桶。

作为本发明的进一步改进，在所述偏心轮底部设有以转轴为轴心的上凹槽，在机架上部设有以转轴为轴心的下凹槽，相互对应的上凹槽、下凹槽内安装滚珠

作为本发明的进一步改进，所述上凹槽开口向下，下凹槽开口向上，上凹槽、下凹槽均为为弧形槽且位置相互对应。

作为本发明的进一步改进，在所述轴承座上设有自动转动轴承，料桶两端分别置于相对应的自动转动轴承上。

作为本发明的进一步改进，所述料桶底部通过弹力绳连接偏心轮上部固定设置的固定环。

作为本发明的进一步改进，所述固定环固定在偏心轮中心，弹力绳上部连接料桶底部中心。

作为本发明的进一步改进，在所述套筒组件端部设有限位肩。

与现有技术相比，本发明具有的有益效果为：在本发明中，旋转电机输出端连接转轴，转轴带动偏心轮转动，一方面，料桶两端分别置于轴承座上，能够在轴承座内自转，另一方面，偏心轮转动，在离心力的作用下，料桶两端连接的套筒组件在上支撑杆、下支撑杆滑动，挤压或拉伸张力弹簧，形成摆动，通过摆动和自转防止料桶浆料凝结。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的说明：

图1为本发明一种半导体膜状扩散源原料防凝装置的结构示意图；

图中：1机架、2偏心轮、3转轴、4旋转电机、5上凹槽、6下凹槽、7滚珠、8挡板、9上支撑杆、10套筒组件、11张力弹簧、12限位块、13下支撑杆、14轴承座、15料桶、16弹力绳、17固定环、18限位肩。

具体实施方式