[发明专利]一种半导体膜状扩散源原料防凝装置

权利要求书

1.一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：包括机架(1)、偏心轮(2)，在所述机架(1)上设有旋转电机(4)，所述旋转电机(4)输出端连接转轴(3)，偏心轮(2)固定设置在转轴(3)上，在所述偏心轮(2)上部设有两个对称的挡板(8)，在所述两个对称的挡板(8)的相对侧顶部和底部分别设有上支撑杆(9)、下支撑杆(13)，在所述上支撑杆(9)、下支撑杆(13)端部分别设有张力弹簧(11)、限位块(12)，上支撑杆(9)、下支撑杆(13)上位于张力弹簧(11)、限位块(12)，的一段外侧套装有套筒组件(10)，两个对称的挡板(8)上的上支撑杆(9)、下支撑杆(13)之间分别固连有轴承座(14)，两个轴承座(14)转动连接有料桶(15)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：在所述偏心轮(2)底部设有以转轴(3)为轴心的上凹槽(5)，在机架(1)上部设有以转轴(3)为轴心的下凹槽(6)，相互对应的上凹槽(5)、下凹槽(6)内安装滚珠(7)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：所述上凹槽(5)开口向下，下凹槽(6)开口向上，上凹槽(5)、下凹槽(6)均为为弧形槽且位置相互对应。

4.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：在所述轴承座(14)上设有自动转动轴承，料桶(15)两端分别置于相对应的自动转动轴承上。

5.根据权利要求1或4所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：所述料桶(15)底部通过弹力绳(16)连接偏心轮(2)上部固定设置的固定环(17)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：所述固定环(17)固定在偏心轮(2)中心，弹力绳(16)上部连接料桶(15)底部中心。

7.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：在所述套筒组件(10)端部设有限位肩(18)。