[发明专利]一种半导体膜状扩散源下料切分装置

权利要求书

1.一种半导体膜状扩散源下料切分装置，其特征在于：包括支架(1)，在所述支架(1)上部设有固定的定位弧板(11)，在所述支架(1)侧面活动连接下料板(3)，在所述下料板(3)上端设有液压缸(6)、下部设有挡料板(4)，所述液压缸(6)端部设有定位尺(7)，定位尺(7)通过弹性支架(8)固定连接在压杆(9)，所述定位尺(7)横截面成直角三角形，直角三角形的直角与下料板(3)垂直，压杆(9)通过弹性支架(8)固定在定位尺(7)的斜面上，在所述定位弧板(11)下端设有固定的压料弧板(15)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源下料切分装置，其特征在于：还包括在支架(1)上的定位柱(2)，所述下料板(3)一端通过铰接架(5)铰接支架(1)，另一端卡接在定位柱(2)上。

3.根据权利要求2所述的一种半导体膜状扩散源下料切分装置，其特征在于：所述定位柱(2)顶部成凹槽，下料板(3)在常态下顶接在定位柱(2)的凹槽上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源下料切分装置，其特征在于：在所述定位弧板(11)上端设有抖料弧板(13)，所述抖料弧板(13)中间通过铰接座(14)铰接在定位弧板(11)上。

5.根据权利要求4所述的一种半导体膜状扩散源下料切分装置，其特征在于：抖料弧板(13)端部通过升降气缸(12)铰接在定位弧板(11)上。

6.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源下料切分装置，其特征在于：所述压料弧板(15)通过固定支架(16)固定在定位弧板(11)上。

7.根据权利要求1或6所述的一种半导体膜状扩散源下料切分装置，其特征在于：所述定位弧板(11)通过固定架(10)固定在支架(1)上部。

8.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源下料切分装置，其特征在于：所述定位尺(7)的横截面直角三角形中的锐角能够抵在定位弧板(11)的下端。

9.根据权利要求1或8所述的一种半导体膜状扩散源下料切分装置，其特征在于：在所述定位尺(7)底部的红外感应器。