[发明专利]一种异常数据提醒的在线连续式晶圆瑕疵测量方法

权利要求书

1.一种异常数据提醒的在线连续式晶圆瑕疵测量方法，其特征在于：其步骤如下：

步骤一：将待检测的晶圆放置到输送装置上，通过驱动电机带动，带动物料进行移动，使其经过摄像头对晶圆的一面进行扫描，晶圆在输送装置上运动的时候，通过一段两侧透明的输送段，对晶圆的两侧进行检测的工作，通过输送装置上的转动结构，对晶圆进行旋转的工作，使其旋转九十度，再次进行检测的工作；

步骤二：摄像头配合电源对晶圆上的瑕疵进行识别和收集的工作，当遇到不合格品的时候，会通过内部的电信号进行提示的工作，提示工作人员检测到了不合格品，并在进行提示的时候，会对瑕疵部位进行扫描的工作，并对形状进行记录的工作,满足识别算法：识别头收集数据，根据瑕疵部位的大小和深度生成对应的数据，长度数据记为Y，宽度数据记为X，深度数据记为Z，当识别头对数据进行收集之后，会将收集到的X，Y，Z进行记录，再通过和预设的标准数据进行比对，如录入数据大，中，小的集合分别为A，B，C，当X，Y，Z满足C的条件时，会在提示的同时显示瑕疵为“小”，当X，Y，Z不满足C，满足B的条件时，会在提示的同时显示瑕疵为“中”，当X，Y，Z不满足C，B，满足A的条件时，会在提示的同时显示瑕疵为“大”；

步骤三：将收集到具有瑕疵的晶圆取出，放置到不合格品的收集箱中，便于后续进行处理的工作，再配合输送装置上的合格品箱对合格品进行收集的工作。

2.根据权利要求1所述的一种异常数据提醒的在线连续式晶圆瑕疵测量方法，其特征在于：所述输送装置设置有至少三个输送通道，同时设置有数量相同的识别装置和翻转装置，通过电机带动进行工作，其中输送装置可以为履带式，滚筒式或者是其他满足晶圆移动的输送装置。

3.根据权利要求1所述的一种异常数据提醒的在线连续式晶圆瑕疵测量方法，其特征在于：所述输送装置采用分段式的结构设计，通过不同转速的电机带动，在进行工作时，当物料接近识别头时，会降低晶圆的速度，便于识别装置对数据的采集。

4.根据权利要求1所述的一种异常数据提醒的在线连续式晶圆瑕疵测量方法，其特征在于：所述两侧透明的输送段采用中空的圆柱形结构设计，在进行工作的时候，能够通过两侧的识别头同时进行检测。

5.根据权利要求1所述的一种异常数据提醒的在线连续式晶圆瑕疵测量方法，其特征在于：所述对晶圆的瑕疵生成对应的映射图，并标注对应的尺寸，便于对晶圆数据进行收集。