[发明专利]一种集成定位和预测功能的移载装置及检测设备

权利要求书

1.一种集成定位和预测功能的移载装置，其特征在于：所述移载装置(3100)包括两组相对设置的无尘拖链(3110)、电气控制台组(3120)、侧边靠位组件(3130)、预检组件(3140)、端靠位组件(3150)和吸盘组件(3160)；

所述电气控制台组(3120)相邻的设置在所述无尘拖链(3110)的内侧并在无尘拖链(3110)的驱动下往复运动；

所述侧边靠位组件(3130)、预检组件(3140)和吸盘组件(3160)设置在所述电气控制台组(3120)上；其中，所述侧边靠位组件(3130)和预检组件(3140)相邻设置，通过两组相对设置的侧边靠位组件(3130)对待测件进行侧边定位，通过两组预检组件(3140)判定吸盘组件(3160)上是否有待测件并对待测件进行瑕疵预检测；

两组端靠位组件(3150)相对的设置，通过端靠位组件(3150)对待测件进行前后端定位；

前后两组端靠位组件(3150)设置在移载装置(3100)下方的支撑平台或台架上，端靠位组件(3150)的靠头可控的前后移动实现待测件的长度定位预设值，且后端的一组端靠位组件(3150)带有升降单元，当将待测件由供料的前端向检测的后端运载时，升降单元将后端处的端靠位组件(3150)下降至待测件下方；

两组吸盘组件(3160)相对的设置，形成矩形布置以将整张待测件水平支撑，通过负压将位于吸盘上的待测件吸附并随拖链运动输送待测件。

2.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于：左右两组侧边靠位组件(3130)的靠头可控的左右移动实现待测件的宽度定位预设值。

3.根据权利要求2所述的移载装置，其特征在于：每个电气控制台组(3120)上设置两个侧边靠位组件(3130)、两个预检组件(3140)和吸盘组件(3160)，前后两端每端设置两个端靠位组件(3150)。

4.根据权利要求2所述的移载装置，其特征在于：所述预检组件(3140)包括光纤检测传感器(3141)和预检测支架(3142)，所述预检测支架(3142)的底部位置可调的固定至电气控制台组(3120)上，所述光纤检测传感器(3141)吊装至所述预检测支架(3142)的上端板上。

5.一种检测设备，其特征在于：检测设备包括减震台架(2000)、平台模组(3000)、和光学检测装置(4000)，其中所述平台模组(3000)和光学检测装置(4000)设置在所述减震台架(2000)上；所述平台模组包括权利要求1-4任一项所述的移载装置(3100)和一个气浮装置(3200)，所述移载装置(3100)跨设在所述气浮装置(3200)上以对待测件进行输送；气浮装置(3200)用于待测件的气浮承载及定位，且平台模组(3000)的浮动平面度为±20μm；所述光学检测装置(4000)设置在所述平台模组(3000)上方，用于待测件的检测；

所述光学检测装置(4000)包括定位相机、主检相机和复检相机，用于待测件的定位、初检和精检。