[发明专利]探针

权利要求书

1.一种探针，能够同时测定多个部位，能同时测定至少两个高频信号，该探针的特征在于，具备：

多个主体部，包括能够与测定对象接触的中心导体；以及

第一部件，所述第一部件固定所述多个主体部，

在所述第一部件设置有凹部，多个所述中心导体的末端从该凹部的底面突出，

各主体部的中心导体中相邻的中心导体之间存在由导体构成的导体部件，

所述凹部具有从该凹部的底部朝向一个开口部扩展的倾斜面。

2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述主体部分别还具有被用作导体部件的外筒。

3.根据权利要求2所述的探针，其特征在于，

所述外筒固定于所述第一部件。

4.根据权利要求1或2所述的探针，其特征在于，

还具备将所述主体部分别收纳于内部的弹簧。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的探针，其特征在于，

还具有位于所述外筒内并与所述中心导体接触的内部导体。

6.根据权利要求5所述的探针，其特征在于，

还具有位于所述外筒和所述内部导体之间的衬套。

7.根据权利要求6所述的探针，其特征在于，

所述衬套上具有阶梯部，

所述中心导体上也具有阶梯部，

所述衬套的阶梯部和所述中心导体的阶梯部之间接触。

8.根据权利要求6或7所述的探针，其特征在于，

所述衬套由树脂构成。

9.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述倾斜面在从所述凹部的底部朝向开口部的高度方向上，从与该凹部的底部分离规定距离的位置设置。

10.根据权利要求1或9所述的探针，其特征在于，

还具备用于将所述主体部安装于固定夹具的凸缘部，

在所述主体部与所述凸缘部间的接触部分设置有规定的间隙。

11.根据权利要求1或9所述的探针，其特征在于，

还具有固定所述主体部的第二部件。

12.根据权利要求1或9所述的探针，其特征在于，

所述第一部件是导体并被形成接地电位。