[发明专利]传感器和电子设备

说明书

本发明公开一种传感器和电子设备，其中，传感器包括：衬底；第一传感单元，第一传感单元对第一传感轴方向的磁场进行检测，第一传感单元包括设置于衬底上的两个第一磁阻模块和两个第二磁阻模块，第一磁阻模块和第二磁阻模块连接形成全桥电路；定义第一磁阻模块的钉扎层的磁化方向与第一传感轴的正方向的夹角为α，定义第二磁阻模块的钉扎层的磁化方向与第一传感轴的正方向的夹角为β，α和β互为补角；以及多个磁通聚集器，多个磁通聚集器设于衬底上，相邻两磁通聚集器间形成磁间隙，每个第一磁阻模块和每个第二磁阻模块分别位于一所述磁间隙。本发明技术方案能提高传感器的检测灵敏度。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种传感器以及应用该传感器的电子设备。

背景技术

随着科技的发展，对测量领域的传感器的要求越来越高，传统的单轴传感器或者双轴传感器在对磁场的大小和方向进行检测过程中，由于外部磁场在传感器的检测方向上的分量较小，使得磁场传感器检测的灵敏度较低。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种传感器，旨在提高传感器的检测灵敏度。

为实现上述目的，本发明提出的传感器，包括：

衬底；

第一传感单元，所述第一传感单元对第一传感轴方向的磁场进行检测，所述第一传感单元包括设置于所述衬底上的两个第一磁阻模块和两个第二磁阻模块，所述第一磁阻模块和所述第二磁阻模块连接形成全桥电路；

定义所述第一磁阻模块的钉扎层的磁化方向与所述第一传感轴的正方向的夹角为α，定义所述第二磁阻模块的钉扎层的磁化方向与所述第一传感轴的正方向的夹角为β，α和β互为补角；以及

多个磁通聚集器，多个所述磁通聚集器设于所述衬底上，相邻两磁通聚集器间形成磁间隙，每个所述第一磁阻模块和每个所述第二磁阻模块分别位于一所述磁间隙。

可选地，所述第一磁阻模块两侧的所述磁通聚集器沿所述第一磁阻模块的钉扎层的磁化方向排列；

所述第二磁阻模块两侧的所述磁通聚集器沿所述第二磁阻模块的钉扎层的磁化方向排列。

可选地，多个所述磁通聚集器包括相对设置的两第一磁通聚集器，以及相对设置的两第二磁通聚集器；

两所述第一磁通聚集器沿所述第一传感轴的方向设置，两所述第二磁通聚集器沿垂直于所述第一传感轴的方向设置；

所述第一磁通聚集器和所述第二磁通聚集器在所述第一传感轴方向上的尺寸大于所述第一传感轴相垂直的方向上的尺寸。

可选地，一所述第一磁通聚集器朝向另一所述第一磁通聚集器的端部具有呈夹角设置的第一导向面和第二导向面，一所述第一磁通聚集器的所述第一导向面与另一第一磁通聚集器的所述第二导向面相对设置；

所述第一导向面面向一所述第一磁阻模块，所述第二导向面面向所述第二磁阻模块。

可选地，两所述第二磁通聚集器均为梯形，两所述第二磁通聚集器的长边相对设置或两所述第二磁通聚集器的短边相对设置；

定义所述第二磁通聚集器的梯形的两个腰分别为第三导向面和第四导向面，一所述第二磁通聚集器的所述第三导向面面向一所述第一磁通聚集器的第一导向面，并形成所述磁间隙；一所述第二磁通聚集器的所述第四导向面面向一所述第一磁通聚集器的第二导向面，并形成所述磁间隙。

可选地，所述第三导向面与所述第一导向面平行设置，所述第四导向面与所述第二导向面平行设置。

可选地，所述第一磁阻模块包括相串联或并联的多个磁阻，相邻两磁阻间还设有所述磁通聚集器；

且/或，所述第二磁阻模块包括相串联或并联的多个磁阻，相邻两磁阻件件还设有所述磁通聚集器。