[发明专利]传感器和电子设备有效
申请号: | 202110227552.6 | 申请日: | 2021-03-01 |
公开(公告)号: | CN113030804B | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 安琪;冷群文;邹泉波;周汪洋;丁凯文;赵海轮;周良 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;G01R33/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 266100 山东省青岛市崂*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 电子设备 | ||
1.一种传感器,其特征在于,包括:
衬底;
第一传感单元,所述第一传感单元对第一传感轴方向的磁场进行检测,所述第一传感单元包括设置于所述衬底上的两个第一磁阻模块和两个第二磁阻模块,所述第一磁阻模块和所述第二磁阻模块连接形成全桥电路;
定义所述第一磁阻模块的钉扎层的磁化方向与所述第一传感轴的正方向的夹角为α,定义所述第二磁阻模块的钉扎层的磁化方向与所述第一传感轴的正方向的夹角为β,α和β互为补角;以及
多个磁通聚集器,多个所述磁通聚集器设于所述衬底上,相邻两磁通聚集器间形成磁间隙,每个所述第一磁阻模块和每个所述第二磁阻模块分别位于一所述磁间隙;
所述第一磁阻模块两侧的所述磁通聚集器沿所述第一磁阻模块的钉扎层的磁化方向排列;
所述第二磁阻模块两侧的所述磁通聚集器沿所述第二磁阻模块的钉扎层的磁化方向排列。
2.如权利要求1所述的传感器,其特征在于,多个所述磁通聚集器包括相对设置的两第一磁通聚集器,以及相对设置的两第二磁通聚集器;
两所述第一磁通聚集器沿所述第一传感轴的方向设置,两所述第二磁通聚集器沿垂直于所述第一传感轴的方向设置;
所述第一磁通聚集器和所述第二磁通聚集器在所述第一传感轴方向上的尺寸大于所述第一传感轴相垂直的方向上的尺寸。
3.如权利要求2所述的传感器,其特征在于,一所述第一磁通聚集器朝向另一所述第一磁通聚集器的端部具有呈夹角设置的第一导向面和第二导向面,一所述第一磁通聚集器的所述第一导向面与另一第一磁通聚集器的所述第二导向面相对设置;
所述第一导向面面向一所述第一磁阻模块,所述第二导向面面向所述第二磁阻模块。
4.如权利要求3所述的传感器,其特征在于,两所述第二磁通聚集器均为梯形,两所述第二磁通聚集器的长边相对设置或两所述第二磁通聚集器的短边相对设置;
定义所述第二磁通聚集器的梯形的两个腰分别为第三导向面和第四导向面,一所述第二磁通聚集器的所述第三导向面面向一所述第一磁通聚集器的第一导向面,并形成所述磁间隙;一所述第二磁通聚集器的所述第四导向面面向一所述第一磁通聚集器的第二导向面,并形成所述磁间隙。
5.如权利要求4所述的传感器,其特征在于,所述第三导向面与所述第一导向面平行设置,所述第四导向面与所述第二导向面平行设置。
6.如权利要求1所述的传感器,其特征在于,所述第一磁阻模块包括相串联或并联的多个磁阻,相邻两磁阻间还设有所述磁通聚集器;
且/或,所述第二磁阻模块包括相串联或并联的多个磁阻,相邻两磁阻件件还设有所述磁通聚集器。
7.如权利要求1至6中任一项所述的传感器,其特征在于,还包括设于所述衬底上的第二传感单元,所述第二传感单元对第二传感方向的磁场进行检测,所述第二传感方向垂直于所述第一传感方向,所述第二传感单元包括设置于所述衬底上的两第三磁阻模块和两第四磁阻模块,所述第三磁阻模块和所述第四磁阻模块连接形成半桥电路;
两所述第三磁阻模块的钉扎层的磁化方向与所述第三磁阻模块的自由层的磁化方向平行,且与所述第二传感轴方向平行;两所述第四磁阻模块的钉扎层的磁化方向与所述第四磁阻模块的自由层的磁化方向垂直;所述第三磁阻模块和所述第四磁阻模块的钉扎层的磁化方向一致。
8.如权利要求7所述的传感器,其特征在于,所述磁通聚集器还对应所述第三磁阻模块设置,两个所述第三磁阻模块分别设于两所述磁通聚集器上。
9.一种电子设备,其特征在于,包括如权利要求1至8中任一项所述的传感器。
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