[发明专利]晶体电光开关及其制作方法有效
申请号: | 202110227397.8 | 申请日: | 2021-04-28 |
公开(公告)号: | CN113031315B | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 王世武;李建宏;聂奕;黄波 | 申请(专利权)人: | 青岛海泰光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/03 | 分类号: | G02F1/03;H01S3/115 |
代理公司: | 青岛海知誉知识产权代理事务所(普通合伙) 37290 | 代理人: | 张晓琳 |
地址: | 266107 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体 电光 开关 及其 制作方法 | ||
1.一种晶体电光开关,其特征在于,包括开关主体部分,所述主体部分包括:
电光晶体主体,沿其轴向两侧端面为晶体第一透光面和晶体第二透光面;
凝胶膜:包括设置在第一透光面的第一凝胶膜和设置在第二透光面的第二凝胶膜;所述凝胶膜经排水分和气氛处理;所述凝胶膜具有抗潮特性,可避免电光晶体与水分子接触;
窗口片:包括第一窗口片和第二窗口片,每个窗口片均包括第一端面和与第一端面相对的第二端面,第一窗口片的第一端面侧设置在第一凝胶膜侧,第二窗口片的第一端面侧设置在第二凝胶膜侧;
沿第一窗口片的外周侧和第二窗口片的外周侧设置有金属电极膜;
第一窗口片的第二端面侧和和第二窗口片的第二端面侧均设置有增透膜。
2.如权利要求1所述的晶体电光开关,其特征在于:所述晶体光电开关还包括壳体,包括壳体腔,主体部分可插入至壳体腔内;壳体上设置有电极柱,所述电极柱的位置被配置为,当主体部分插入壳体腔后,两个电极柱分别与第一窗口片的金属电极膜及第二窗口片的金属电极膜连接。
3.如权利要求1所述的晶体电光开关,其特征在于:第一凝胶膜覆盖第一透光面,第二凝胶膜覆盖第二透光面,第一凝胶膜和第二凝胶膜的厚度均小于0.002毫米,第一凝胶膜和第二凝胶膜的厚度差小于0.001毫米。
4.如权利要求1所述的晶体电光开关,其特征在于:第一透光面和第二透光面的平面度均小于λ/8;
第一窗口片的第一端面及第二窗口片的第一端面的平面度均小于λ/8;
其中λ为测量窗口片平面度所采用的激光的波长。
5.如权利要求1所述的晶体电光开关,其特征在于:设定折射率阈值,电光晶体主体、凝胶膜、窗口片三者中,任意两者之间折射率的差均在折射率阈值范围内。
6.一种晶体电光开关的制作方法,用于权利要求1至5中晶体电光开关的制作,其特征在于,包括以下步骤:
分别在第一窗口片的第二端面侧和第二窗口片的第二端面侧镀增透膜;
分别在第一窗口片外周侧和第二窗口片外周侧镀金属电极膜;
分别在第一窗口片的第一端面侧和第二窗口片的第一端面侧涂布凝胶膜;
将电光晶体主体粘贴在第一窗口片凝胶膜和第二窗口片凝胶膜之间;
对凝胶膜进行排水分和气氛处理。
7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,对凝胶膜进行排水分和气氛处理的方法包括:
将晶体电光开关置于真空环境中进行处理;
所述真空环境的气压低于0.2,温度为70 ℃ -90 ℃ ;
所述处理时间不小于2小时。
8.如权利要求6所述的方法,其特征在于,进一步包括以下步骤:
将电光晶体主体粘贴在凝胶膜之间,对电光晶体主体的第一透光面和第二透光面进行抛光处理,使第一透光面的平面度和第二透光面的平面度均小于λ/8,光洁度大于10/5。
9.如权利要求6所述的方法,其特征在于,进一步包括以下步骤:
对第一窗口片的第一端面和第二窗口片的第一端面进行抛光处理,使两端面的平面度均小于λ/8。
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