[发明专利]一种手术刀用金刚石薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种手术刀用金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

A.以钛合金为衬底，先后对钛合金进行脱脂清洗处理、酸洗处理、表面研磨处理、无水乙醇清洗处理并烘干待用；

B.将烘干的衬底放入CVD镀膜装置中，采用热丝CVD法在衬底表面形成金刚石薄膜，成膜时以甲烷和氢气为反应气体，热丝温度2100-2300℃，热丝与基体的距离为9-12mm，基体温度650-800℃，气体压力2.5-3.5kPa，甲烷分压2-3%，气体总流量100-120sccm，反应时间30-75min；

C.在氢气气氛下对金刚石薄膜进行分段退火，退火时热丝与基体的距离为12mm，氢气流量100sccm，基体先后在600℃、700℃和800℃条件下退火20min。

2.一种如权利要求1所述的手术刀用金刚石薄膜的制备方法，其特征在于：脱脂清洗处理选用的脱脂剂是浓度20%的KOH溶液。

3.一种如权利要求1-2中任一项所述的手术刀用金刚石薄膜的制备方法，其特征在于：酸洗处理选用的酸洗液是5% HCl和5% HNO₃的混合溶液。

4.一种如权利要求1-3中任一项所述的手术刀用金刚石薄膜的制备方法，其特征在于：所述表面研磨处理采用粒径为0.5μm的金刚石微粉在丙酮悬浊液中配合超声震荡进行表面研磨。

5.一种如权利要求1所述的手术刀用金刚石薄膜的制备方法，其特征在于：经步骤C退火处理后的金刚石薄膜中石墨相的含量下降超过40%。

6.一种手术刀用金刚石薄膜，其特征在于，由权利要求1-5中任一项所述的制备方法制备而得。