[发明专利]一种用于5G滤波器表面的薄膜层及其制备方法

说明书

本申请涉及真空镀膜领域，具体公开了一种用于5G滤波器表面的薄膜层及其制备方法。用于5G滤波器表面的薄膜层包括依次覆盖于5G滤波器表面的Cr层、WC层以及Ni层；其制备方法包括以下步骤：步骤1，清洗5G滤波器；步骤2，真空镀膜室内离子清洗；步骤3，沉积Cr层；步骤4，沉积WC层；步骤5，沉积Ni层；采用上述制备方法制得5G滤波器。本申请的薄膜层可用于5G滤波器表面，其具有提高5G滤波器表面与电镀层的附着力的优点；另外，本申请的制备方法具有易于生产控制，有利于实现批量工业化生产的优点。

技术领域

本申请涉及真空镀膜领域，更具体地说，它涉及一种用于5G滤波器表面的薄膜层及其制备方法。

背景技术

5G技术是目前最新一代蜂窝移动通信技术，相比于4G技术，5G技术对射频通路的要求也有了大幅增加，单个射频单元中的滤波器从传统的4G时代的以2发2收为主，到如今的高达64发64收，甚至128发128收。因此，滤波器的性能好坏对于5G技术的发展具有举足轻重的作用。

滤波器的表面一般都镀有银层，主要用于屏蔽信号。目前，滤波器表面的银层主要是通过以下步骤制得的：先将陶瓷滤波器清洗干净并烘干，去除陶瓷滤波器表面残余的污渍，再将陶瓷滤波器浸泡在银浆中，使得陶瓷滤波器表面均匀涂覆有银浆层，然后将陶瓷滤波器放入烘银炉内烘干，最后再将陶瓷滤波器放入烧银炉中进行烧银，使得陶瓷滤波器表面形成银层。

针对上述中的相关技术，发明人认为，银层与陶瓷表面的附着力差，容易对陶瓷滤波器的性能产生影响，因此，仍有改进的空间。

发明内容

为了提高银层与5G滤波器表面的附着力，本申请提供一种用于5G滤波器表面的薄膜层及其制备方法。

第一方面，本申请提供一种用于5G滤波器表面的薄膜层，采用如下的技术方案：

一种用于5G滤波器表面的薄膜层，包括依次覆盖于5G滤波器表面的Cr层、WC层以及Ni层。

通过采用上述技术方案，通过在5G滤波器表面覆盖Ni层，Ni层与电镀Ni层以及银层的附着力较强，从而有利于更好地增强银层与5G滤波器表面的附着力；通过采用Cr层以及WC层作为过渡层，有利于更好地增强Ni层与5G滤波器表面的附着力，使得用于5G滤波器表面的薄膜层与5G滤波器表面的结合力强度更强，进而使得银层与5G滤波器表面的附着力更强。

另外，使得银层可直接通过电镀的方式沉积在用于5G滤波器表面的薄膜层上，无需再通过浸泡银浆的方式镀银层，有利于更好地节约银的用量，使得银的覆盖效率提高，从而有利于更好地降低5G滤波器的成本。

第二方面，本申请提供一种用于5G滤波器表面的薄膜层的制备方法，采用如下的技术方案：

一种用于5G滤波器表面的薄膜层的制备方法，包括以下步骤：

步骤1，清洗5G滤波器，并将清洗后的5G滤波器放入真空镀膜室中加热、抽真空；

步骤2，往真空镀膜室中通入氩气，并对5G滤波器表面进行离子清洗；

步骤3，开启Cr靶，采用磁控溅射法在5G滤波器表面沉积Cr层；

步骤4，关闭Cr靶，通入乙炔气体，开启WC靶，采用磁控溅射法在Cr层表面沉积WC层；

步骤5，关闭WC靶，通入氩气，开启Ni弧靶，采用电弧离子镀在WC层表面沉积Ni层。