[发明专利]用于金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层及其制备方法

说明书

本申请涉及真空镀膜领域，具体公开了一种用于金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层及其制备方法。用于金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层包括依次覆盖于金属或金属化合物膜表面的Al₂O₃层、SiO₂层以及防指纹膜层；其制备方法包括以下步骤：步骤1，表面镀有金属或金属化合物膜的基材清洗；步骤2，真空镀膜室内离子清洗；步骤3，沉积Al₂O₃层；步骤4，沉积SiO₂层；步骤5，沉积防指纹膜层；采用上述制备方法制得覆盖有防指纹涂层的表面镀有金属或金属化合物膜的基材。本申请的防指纹涂层可用于表面镀有金属或金属化合物膜的任意金属基材表面，其具有耐磨性好且成本低的优点；本申请的制备方法具有生产易于控制、有利于批量工业化生产的优点。

技术领域

本申请涉及真空镀膜领域，更具体地说，它涉及一种用于金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层及其制备方法。

背景技术

AF防指纹技术最早是应用在玻璃表面的，目前的技术已经非常成熟了。但随着科技进步的发展、消费的升级以及人们生活水平的提高，目前智能穿戴领域的金属或金属化合物表面也对防指纹技术提出了更高的需求。

目前的智能穿戴领域的防指纹通常是通过蒸发镀膜技术直接在产品表面覆盖一层防指纹涂层实现的，目前的防指纹涂层在金属或金属化合物膜表面的初始水滴角也可以达到跟在玻璃表面一样的效果。

针对上述中的相关技术，发明人认为，防指纹涂层与金属或金属化合物膜的结合力强度比较差，从而导致金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层的耐磨性能比较差，因此，仍有改进的空间。

发明内容

为了提高金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层的耐磨性能，本申请提供一种用于金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层及其制备方法。

第一方面，本申请提供一种用于金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层，采用如下的技术方案：

一种用于金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层，包括依次覆盖于金属膜表面的Al₂O₃层、SiO₂层以及防指纹膜层。

通过采用上述技术方案，通过采用Al₂O₃层以及SiO₂层作为过渡层，SiO₂层有利于提高防指纹膜层的附着力，使得防指纹膜层与金属或金属化合物膜表面的结合力强度更佳，Al₂O₃层有利于增强SiO₂层的附着力，使得SiO₂层与金属或金属化合物膜表面的结合力强度更佳，从而有利于更好地增强防指纹涂层与金属或金属化合物膜的结合力强度，使得防指纹涂层的耐磨性能更好。

第二方面，本申请提供一种用于金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层的制备方法，采用如下的技术方案：

一种用于金属或金属化合物膜表面的防指纹涂层的制备方法，包括以下步骤：

步骤1，将表面镀有金属或金属化合物膜的基材投入真空镀膜室中加热、抽真空；；

步骤2，往真空镀膜室中通入氩气，并对镀有金属或金属化合物膜的基材进行离子清洗；

步骤3，通入氧气，并开启Al靶，采用磁控溅射法在金属或金属化合物膜表面沉积Al₂O₃层；

步骤4，关闭Al靶，开启Si靶，采用磁控溅射法在Al₂O₃层表面沉积SiO₂层；

步骤5，关闭氩气以及氧气，关闭Si靶，采用真空蒸发镀膜在SiO₂层表面沉积防指纹膜层。