[发明专利]使用喷墨印刷进行图案形成的装置及方法

说明书

公开了一种使用喷墨印刷进行图案形成的装置和方法。根据本发明的一个方面的使用喷墨印刷进行图案形成的方法可以包括：通过利用喷墨印刷喷射溶液来形成图案；以及通过在图案上进行热处理的同时施加大于或等于大气压的压力来获得平坦度，其中，图案的横截面通过喷墨印刷形成有凸形表面，并且通过施加压力使相同的力垂直地施加于图案的每个表面上而平坦化。

背景技术

1.技术领域

本发明涉及一种使用喷墨印刷进行图案形成的装置及方法，更具体地涉及一种能够使喷射的溶液的表面平坦化的图案形成装置及方法。

2.现有技术的描述

在用于有机发光二极管(OLED)和液晶显示(LCD)装置的滤色器的制造方面的最新趋势包括对使用诸如RGB(红色、绿色、蓝色)、黄色、白色和透明的染料和颜料等各种材料通过喷墨印刷来形成图案正在进行的研究。这是因为，使用掩模的光致抗蚀工艺，排出到预期图案之外的区域上的材料被废弃，导致材料成本的增加。

然而，使用喷墨印刷难以将RGB形式的喷墨材料或封闭在分隔壁内的各种其他溶液平坦化至所需程度。而且，尽管光致抗蚀工艺能够形成已经平坦化的图案，但是使用喷墨印刷进行这种平坦化可能是非常困难的，因为排放在分隔壁之间的少量(即，一滴或两滴)的溶液会受到各种力，例如溶液的内聚力、粘附力、粘度等以及材料本身的表面张力。另外，除了表面张力之外，分隔壁或与溶液接触的部分的表面处理的状态、溶液内的溶剂的组成比或溶质的形式也可能具有很大影响。

根据用于喷墨印刷的溶液的类型以及接触溶液的物质的性质、形式等，溶液的横截面可以具有各种形状，如图1所示。在此，最理想的形状是诸如图(a)所示的平面形状，并且大多数喷墨溶液具有诸如图(b)所示的凸形形状。在一些情况下，喷射的喷墨溶液还可以具有诸如图(c)所示的凹陷形状。

对通过喷墨印刷而喷射到分隔壁的内侧的溶液进行热处理以去除不必要的溶剂并干燥，由此进行在分隔壁内硬化成图案的工序。如果经由热处理除去溶剂后剩余的物质是水平的，这将是令人满意的。但是，根据溶液的性质、分隔壁的处理条件以及热处理条件，表面通常不是水平的或者平坦的，如图2 的(b)、(c)和(d)所示的例子。如果图案的表面不是平坦的，则在每个位置处厚度可能不同，这由于色彩再现和透射率的差异，相应地可能被表现为显示质量的缺陷。

发明内容

为了解决上述问题而提出的本发明的一个方面是提供一种用于图案形成的装置和方法，其能够使通过喷墨印刷喷射的溶液平坦化。

从下面公开的本发明的实施例中，将更清楚地理解本发明的其他目的。

根据本发明的一个方面的使用喷墨印刷进行图案形成的方法可以包括：通过利用喷墨印刷喷射溶液来形成图案；以及通过在图案上进行热处理的同时施加大于或等于大气压的压力来获得平坦度，其中，图案的横截面通过喷墨印刷形成有凸形表面，并且通过施加压力使相同的力垂直地施加于图案的每个表面上而平坦化。

基于本发明的使用喷墨印刷的图案形成方法可以包括以下实施例中的一个或多个。例如，可以进一步包括在基板的一侧上形成分隔壁的操作，其中溶液可以被喷射到分隔壁的内侧。图案可以是用于显示器的滤色器。

可以通过热板、灯以及热风机中的至少一种执行热处理，并且可以执行热处理以对所喷射的溶液进行干燥和硬化。

根据本发明的一个方面的使用喷墨印刷的图案形成装置可以包括：腔室，所述腔室具有密封的内部空间；热处理单元，所述热处理单元被配置为对位于内部空间中的基板实施热处理；以及加压单元，所述加压单元被配置成通过在内部空间中施加大于或等于大气压的压力来使形成在基板上的图案平坦化。

热处理单元可包括热板、灯和热风机中的至少一者。

利用上述的本发明的解决问题的手段，可以期待包括以下效果的各种有益效果。然而，这并不一定意味着本发明必须表现出下面的所有效果。