[发明专利]使用喷墨印刷进行图案形成的装置及方法在审
申请号: | 202110226314.3 | 申请日: | 2021-03-01 |
公开(公告)号: | CN113497188A | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
发明(设计)人: | 李凤雨 | 申请(专利权)人: | 李凤雨 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L27/32;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 李琳;陈英俊 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 喷墨 印刷 进行 图案 形成 装置 方法 | ||
1.一种使用喷墨印刷进行图案形成的方法,所述方法包括:
通过利用喷墨印刷喷射溶液来形成图案;以及
通过在所述图案上进行热处理的同时施加大于或等于大气压的压力来获得平坦度,
其中,所述图案的横截面通过所述喷墨印刷形成有凸形表面,并且通过施加压力使相同的力垂直地施加于所述图案的每个表面上而平坦化。
2.根据权利要求1所述的使用喷墨印刷进行图案形成的方法,还包括:
在基板的一侧上形成分隔壁,
其中,所述溶液被喷射到所述分隔壁的内侧。
3.根据权利要求1所述的使用喷墨印刷进行图案形成的方法,其中,所述图案是用于显示器的滤色器。
4.根据权利要求1所述的使用喷墨印刷进行图案形成的方法,其中,通过热板、灯以及热风机中的至少一种执行所述热处理,并且执行所述热处理以对喷射的所述溶液进行干燥和硬化。
5.一种使用喷墨印刷进行图案形成的装置,所述装置包括:
腔室,所述腔室具有密封的内部空间;
热处理单元,所述热处理单元被配置为对位于所述内部空间中的基板实施热处理;以及
加压单元,所述加压单元被配置成通过在所述内部空间中施加大于或等于大气压的压力来使形成在所述基板上的图案平坦化。
6.根据权利要求5所述的使用喷墨印刷进行图案形成的装置,其中,所述热处理单元包括热板、灯和热风机中的至少一者。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择