[发明专利]生物刻蚀设备及生物刻蚀方法

权利要求书

1.一种生物刻蚀设备，包括底座(4)，其特征在于，所述底座(4)上安装有：

刻蚀箱体(1)，所述刻蚀箱体(1)具有能够置入待加工基体(5)的侧开口(103)；所述刻蚀箱体(1)的内底部设置有用于培养刻蚀菌群的培养基(101)，内顶部设置有移动吊具(102)，所述移动吊具(102)能够悬吊所述待加工基体(5)并将所述待加工基体(5)移动至预定位置；

进料装置(2)，活动安装在所述底座(4)上，所述进料装置(2)能够通过垂直运动和水平运动托起所述待加工基体(5)，并将所述待加工基体(5)通过所述侧开口(103)送入或移出所述刻蚀箱体(1)；

控制装置，与所述刻蚀箱体(1)和所述进料装置(2)电连接，用于控制所述进料装置(2)运动以及控制所述移动吊具(102)动作；

两个托架(104)，对称设置在所述刻蚀箱体(1)内侧壁上，所述两个托架(104)用于从两侧支撑所述待加工基体(5)，且所述两个托架(104)能够沿着所述刻蚀箱体(1)的内侧壁垂直移动从而带动置于所述托架(104)上的所述待加工基体(5)移动至能够与所述培养基(101)接触的位置。

2.根据权利要求1所述的生物刻蚀设备，其特征在于，所述移动吊具(102)包括：

能够沿着所述刻蚀箱体(1)的内顶部平移的伸缩件；

固定在所述刻蚀箱体(1)内顶部的平移机构，能够为所述伸缩件提供平移动力；

设置在所述伸缩件自由端的吸盘，所述吸盘的顶部开设有吸气孔，所述吸盘用于吸附悬吊所述待加工基体(5)；以及

吸力组件，与所述吸盘的所述吸气孔连通，用于为所述吸盘提供吸附力。

3.根据权利要求2所述的生物刻蚀设备，其特征在于，所述伸缩件为伸缩缸杆结构；所述吸力组件包括封闭桶体和设置在所述桶体内的活塞，所述桶体与所述吸盘固定，所述桶体内腔与所述吸盘的所述吸气孔连通，通过所述活塞移动抽取所述吸盘与所述待加工基体(5)之间的空气，能够使得所述吸盘吸附悬吊所述待加工基体(5)。

4.根据权利要求1所述的生物刻蚀设备，其特征在于，所述进料装置(2)包括：

能够沿着所述底座(4)平移的立柱；

固定在所述底座(4)上的进给机构，用于为所述立柱提供平移动力；

固定在所述立柱顶端的支撑件，所述支撑件能够托起所述待加工基体(5)；

沿着所述立柱设置的电机螺杆螺母结构，用于为所述支撑件提供升降动力。

5.根据权利要求1所述的生物刻蚀设备，其特征在于，在所述底座(4)上还安装有：旋转盘(3)和为所述旋转盘(3)提供动力的旋转电机；

所述刻蚀箱体(1)安装在所述旋转盘(3)上，所述旋转盘(3)能够带动所述刻蚀箱体(1)旋转运动。

6.根据权利要求5所述的生物刻蚀设备，其特征在于，所述旋转盘(3)上还安装有振动器。

7.根据权利要求1所述的生物刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀箱体(1)内还设置有：

温度检测装置(105)，用于检测所述刻蚀箱体(1)内的温度值；

温度调控装置，用于调节所述刻蚀箱体(1)内的温度值。

8.根据权利要求1所述的生物刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀箱体(1)内还设置有：

酸碱度检测装置(106)，设置在所述培养基(101)内，用于检测所述培养基(101)内的酸碱度；

酸碱度调控装置，用于调节所述培养基(101)内的酸碱度。

9.一种使用权利要求1-8中任一项所述的生物刻蚀设备进行生物刻蚀的方法，其特征在于，所述方法包括：

对待刻蚀的待加工基体(5)完成掩膜覆盖；

将菌种放入所述刻蚀箱体(1)内的培养基(101)中，封闭所述刻蚀箱体(1)进行菌群培养，在培养过程中保持所述培养基(101)中的酸碱度值、温度值符合预设培养条件；

在所述培养基(101)中的所述菌群达到刻蚀要求后，通过所述进料装置(2)从所述刻蚀箱体(1)的所述侧开口(103)将待刻蚀的待加工基体(5)移动至所述刻蚀箱体(1)内；

通过所述移动吊具(102)将待刻蚀的待加工基体(5)移动至能够与所述培养基(101)接触的位置以进行刻蚀操作；

待达到预定反应时间，通过所述移动吊具(102)将完成刻蚀的待加工基体(5)悬吊离开所述培养基(101)；

通过所述进料装置(2)将完成刻蚀的待加工基体(5)从所述刻蚀箱体(1)内移出。